ವಿವರಣೆ
ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾರಿಯರ್ಸ್ಜೊತೆಗೆಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (SiC) ಲೇಪನಸೆಮಿಸೆರಾದಿಂದ ಉನ್ನತ-ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಬೆಳವಣಿಗೆಗಾಗಿ ಪರಿಣಿತವಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ, ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಫಲಿತಾಂಶಗಳನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆಸಿ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಮತ್ತುSiC ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ಗಳು. ಸೆಮಿಸೆರಾದ ನಿಖರ-ಎಂಜಿನಿಯರ್ಡ್ ಕ್ಯಾರಿಯರ್ಗಳನ್ನು ವಿಪರೀತ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳನ್ನು ತಡೆದುಕೊಳ್ಳಲು ನಿರ್ಮಿಸಲಾಗಿದೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ಬಾಳಿಕೆ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಕೈಗಾರಿಕೆಗಳಿಗೆ ಅವುಗಳನ್ನು MOCVD ಸಸೆಪ್ಟರ್ ಸಿಸ್ಟಮ್ಗಳಲ್ಲಿ ಅತ್ಯಗತ್ಯ ಘಟಕಗಳಾಗಿ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
ಈ ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾರಿಯರ್ಗಳು ಬಹುಮುಖವಾಗಿದ್ದು, ಅಂತಹ ಸಲಕರಣೆಗಳೊಂದಿಗೆ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತವೆಪಿಎಸ್ಎಸ್ ಎಚ್ಚಣೆ ವಾಹಕ, ICP ಎಚ್ಚಣೆ ವಾಹಕ, ಮತ್ತುRTP ವಾಹಕ. ಅವರ ದೃಢವಾದ SiC ಲೇಪನವು ಅಂತಹ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ಗಳಿಗೆ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆಎಲ್ಇಡಿ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ಸಸೆಪ್ಟರ್ ಮತ್ತು ಮೊನೊಕ್ರಿಸ್ಟಲಿನ್ ಸಿಲಿಕಾನ್, ಬೇಡಿಕೆಯ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿಯೂ ಸಹ ಸ್ಥಿರ ಫಲಿತಾಂಶಗಳನ್ನು ಖಾತ್ರಿಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
ಬ್ಯಾರೆಲ್ ಸಸೆಪ್ಟರ್ ಮತ್ತು ಪ್ಯಾನ್ಕೇಕ್ ಸಸೆಪ್ಟರ್ನಂತಹ ಬಹು ಸಂರಚನೆಗಳಲ್ಲಿ ಲಭ್ಯವಿದೆ, ಈ ವಾಹಕಗಳು ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುಜ್ಜನಕ ಮತ್ತು ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಪ್ರಮುಖ ಪಾತ್ರವನ್ನು ವಹಿಸುತ್ತವೆ, ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುಜ್ಜನಕ ಭಾಗಗಳ ಉತ್ಪಾದನೆಯನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು SiC ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ GaN ಅನ್ನು ಸುಗಮಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ. ತಮ್ಮ ಉನ್ನತ ವಿನ್ಯಾಸದೊಂದಿಗೆ, ಈ ವಾಹಕಗಳು ಹೆಚ್ಚಿನ ದಕ್ಷತೆಯ ಉತ್ಪಾದನೆಯನ್ನು ಗುರಿಯಾಗಿಟ್ಟುಕೊಂಡು ತಯಾರಕರಿಗೆ ಪ್ರಮುಖ ಆಸ್ತಿಯಾಗಿದೆ.
ಮುಖ್ಯ ಲಕ್ಷಣಗಳು
1 .ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆ SiC ಲೇಪಿತ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್
2. ಉನ್ನತ ಶಾಖ ನಿರೋಧಕತೆ ಮತ್ತು ಉಷ್ಣ ಏಕರೂಪತೆ
3. ಫೈನ್SiC ಸ್ಫಟಿಕ ಲೇಪಿತಮೃದುವಾದ ಮೇಲ್ಮೈಗಾಗಿ
4. ರಾಸಾಯನಿಕ ಶುದ್ಧೀಕರಣದ ವಿರುದ್ಧ ಹೆಚ್ಚಿನ ಬಾಳಿಕೆ
CVD-SIC ಕೋಟಿಂಗ್ಗಳ ಮುಖ್ಯ ವಿಶೇಷಣಗಳು:
SiC-CVD | ||
ಸಾಂದ್ರತೆ | (g/cc) | 3.21 |
ಬಾಗುವ ಶಕ್ತಿ | (ಎಂಪಿಎ) | 470 |
ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ | (10-6/ಕೆ) | 4 |
ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ | (W/mK) | 300 |
ಪ್ಯಾಕಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಶಿಪ್ಪಿಂಗ್
ಪೂರೈಕೆ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ:
ತಿಂಗಳಿಗೆ 10000 ಪೀಸ್/ಪೀಸ್
ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ ಮತ್ತು ವಿತರಣೆ:
ಪ್ಯಾಕಿಂಗ್: ಸ್ಟ್ಯಾಂಡರ್ಡ್ ಮತ್ತು ಸ್ಟ್ರಾಂಗ್ ಪ್ಯಾಕಿಂಗ್
ಪಾಲಿ ಬ್ಯಾಗ್ + ಬಾಕ್ಸ್ + ಕಾರ್ಟನ್ + ಪ್ಯಾಲೆಟ್
ಬಂದರು:
ನಿಂಗ್ಬೋ/ಶೆನ್ಜೆನ್/ಶಾಂಘೈ
ಪ್ರಮುಖ ಸಮಯ:
ಪ್ರಮಾಣ (ತುಣುಕುಗಳು) | 1-1000 | >1000 |
ಅಂದಾಜು. ಸಮಯ (ದಿನಗಳು) | 30 | ಮಾತುಕತೆ ನಡೆಸಬೇಕಿದೆ |