ಸೆಮಿಸೆರಾ ನSiC ಪ್ಯಾಡ್ಲ್ಗಳುಆಯಾಮದ ನಿಖರತೆಯು ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿರುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸುವ ಕನಿಷ್ಠ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆಗಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ. ಇದು ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್‌ಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿಸುತ್ತದೆಬಿಲ್ಲೆಗಳುವೇಫರ್ ಬೋಟ್ ತನ್ನ ರಚನಾತ್ಮಕ ಸಮಗ್ರತೆಯನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳುವುದರಿಂದ, ಸ್ಥಿರವಾದ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಖಾತ್ರಿಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳುವುದರಿಂದ ಪುನರಾವರ್ತಿತ ತಾಪನ ಮತ್ತು ತಂಪಾಗಿಸುವ ಚಕ್ರಗಳಿಗೆ ಒಳಪಟ್ಟಿರುತ್ತದೆ.
ಸೆಮಿಸೆರಾವನ್ನು ಸಂಯೋಜಿಸುವುದುಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಪ್ರಸರಣ ಪ್ಯಾಡಲ್ಗಳುನಿಮ್ಮ ಉತ್ಪಾದನಾ ಸಾಲಿನಲ್ಲಿ ನಿಮ್ಮ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ, ಅವರ ಉನ್ನತ ಉಷ್ಣ ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳಿಗೆ ಧನ್ಯವಾದಗಳು. ಈ ಪ್ಯಾಡ್ಲ್‌ಗಳು ಪ್ರಸರಣ, ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ ಮತ್ತು ಅನೆಲಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಿಗೆ ಪರಿಪೂರ್ಣವಾಗಿವೆ, ಪ್ರತಿ ಹಂತದ ಉದ್ದಕ್ಕೂ ಬಿಲ್ಲೆಗಳನ್ನು ಎಚ್ಚರಿಕೆಯಿಂದ ಮತ್ತು ನಿಖರವಾಗಿ ನಿರ್ವಹಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
ನಾವೀನ್ಯತೆಯು ಸೆಮಿಸೆರಾ ಅವರ ಮಧ್ಯಭಾಗದಲ್ಲಿದೆSiC ಪ್ಯಾಡಲ್ವಿನ್ಯಾಸ. ಈ ಪ್ಯಾಡ್ಲ್‌ಗಳನ್ನು ಅಸ್ತಿತ್ವದಲ್ಲಿರುವ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉಪಕರಣಗಳಿಗೆ ಮನಬಂದಂತೆ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುವಂತೆ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ, ವರ್ಧಿತ ನಿರ್ವಹಣೆ ದಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ. ಹಗುರವಾದ ರಚನೆ ಮತ್ತು ದಕ್ಷತಾಶಾಸ್ತ್ರದ ವಿನ್ಯಾಸವು ವೇಫರ್ ಸಾರಿಗೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುವುದಲ್ಲದೆ, ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ಅಲಭ್ಯತೆಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಇದರ ಪರಿಣಾಮವಾಗಿ ಸುವ್ಯವಸ್ಥಿತ ಉತ್ಪಾದನೆಗೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ.
| ರಿಕ್ರಿಸ್ಟಲೈಸ್ಡ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್‌ನ ಭೌತಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು | |
| ಆಸ್ತಿ | ವಿಶಿಷ್ಟ ಮೌಲ್ಯ |
| ಕೆಲಸದ ತಾಪಮಾನ (°C) | 1600 ° C (ಆಮ್ಲಜನಕದೊಂದಿಗೆ), 1700 ° C (ಪರಿಸರವನ್ನು ಕಡಿಮೆಗೊಳಿಸುವುದು) |
| SiC ವಿಷಯ | > 99.96% |
| ಉಚಿತ Si ವಿಷಯ | < 0.1% |
| ಬೃಹತ್ ಸಾಂದ್ರತೆ | 2.60-2.70 ಗ್ರಾಂ / ಸೆಂ3 |
| ಸ್ಪಷ್ಟ ಸರಂಧ್ರತೆ | < 16% |
| ಸಂಕೋಚನ ಶಕ್ತಿ | > 600 MPa |
| ಶೀತ ಬಾಗುವ ಶಕ್ತಿ | 80-90 MPa (20°C) |
| ಬಿಸಿ ಬಾಗುವ ಶಕ್ತಿ | 90-100 MPa (1400°C) |
| ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ @1200°C | 23 W/m•K |
| ಸ್ಥಿತಿಸ್ಥಾಪಕ ಮಾಡ್ಯುಲಸ್ | 240 GPa |
| ಉಷ್ಣ ಆಘಾತ ಪ್ರತಿರೋಧ | ಅತ್ಯಂತ ಒಳ್ಳೆಯದು |
