ವೇಫರ್ ಹ್ಯಾಂಡ್ಲಿಂಗ್ ಆರ್ಮ್ನಿರ್ವಹಿಸಲು, ವರ್ಗಾವಣೆ ಮತ್ತು ಸ್ಥಾನಕ್ಕಾಗಿ ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುವ ಪ್ರಮುಖ ಸಾಧನವಾಗಿದೆಬಿಲ್ಲೆಗಳು. ಇದು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ರೊಬೊಟಿಕ್ ತೋಳು, ಗ್ರಿಪ್ಪರ್ ಮತ್ತು ನಿಯಂತ್ರಣ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತದೆ, ನಿಖರವಾದ ಚಲನೆ ಮತ್ತು ಸ್ಥಾನಿಕ ಸಾಮರ್ಥ್ಯಗಳೊಂದಿಗೆ.ವೇಫರ್ ಹ್ಯಾಂಡ್ಲಿಂಗ್ ಆರ್ಮ್ಸ್ವೇಫರ್ ಲೋಡಿಂಗ್, ಕ್ಲೀನಿಂಗ್, ಥಿನ್ ಫಿಲ್ಮ್ ಠೇವಣಿ, ಎಚ್ಚಣೆ, ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಮತ್ತು ತಪಾಸಣೆಯಂತಹ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಹಂತಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಂತೆ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ವಿವಿಧ ಲಿಂಕ್‌ಗಳಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಗುಣಮಟ್ಟ, ದಕ್ಷತೆ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಅದರ ನಿಖರತೆ, ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆ ಮತ್ತು ಯಾಂತ್ರೀಕೃತಗೊಂಡ ಸಾಮರ್ಥ್ಯಗಳು ಅತ್ಯಗತ್ಯ.
ವೇಫರ್ ಹ್ಯಾಂಡ್ಲಿಂಗ್ ಆರ್ಮ್ನ ಮುಖ್ಯ ಕಾರ್ಯಗಳು ಸೇರಿವೆ:
1. ವೇಫರ್ ವರ್ಗಾವಣೆ: ವೇಫರ್ ಹ್ಯಾಂಡ್ಲಿಂಗ್ ಆರ್ಮ್ ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ಒಂದು ಸ್ಥಳದಿಂದ ಇನ್ನೊಂದಕ್ಕೆ ನಿಖರವಾಗಿ ವರ್ಗಾಯಿಸಲು ಸಾಧ್ಯವಾಗುತ್ತದೆ, ಉದಾಹರಣೆಗೆ ಶೇಖರಣಾ ರ್ಯಾಕ್‌ನಿಂದ ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಕೊಂಡು ಅವುಗಳನ್ನು ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಸಾಧನದಲ್ಲಿ ಇರಿಸುವುದು.
2. ಸ್ಥಾನೀಕರಣ ಮತ್ತು ದೃಷ್ಟಿಕೋನ: ವೇಫರ್ ಹ್ಯಾಂಡ್ಲಿಂಗ್ ಆರ್ಮ್ ಸರಿಯಾದ ಜೋಡಣೆ ಮತ್ತು ನಂತರದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಅಥವಾ ಮಾಪನ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಗಳಿಗಾಗಿ ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ನಿಖರವಾಗಿ ಇರಿಸಲು ಮತ್ತು ಓರಿಯಂಟ್ ಮಾಡಲು ಸಾಧ್ಯವಾಗುತ್ತದೆ.
3. ಕ್ಲ್ಯಾಂಪ್ ಮಾಡುವುದು ಮತ್ತು ಬಿಡುಗಡೆ ಮಾಡುವುದು: ವೇಫರ್ ಹ್ಯಾಂಡ್ಲಿಂಗ್ ಆರ್ಮ್‌ಗಳು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಗ್ರಿಪ್ಪರ್‌ಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದ್ದು ಅವು ಸುರಕ್ಷಿತವಾಗಿ ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ಕ್ಲ್ಯಾಂಪ್ ಮಾಡಬಹುದು ಮತ್ತು ವೇಫರ್‌ಗಳ ಸುರಕ್ಷಿತ ವರ್ಗಾವಣೆ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಣೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಅಗತ್ಯವಿರುವಾಗ ಅವುಗಳನ್ನು ಬಿಡುಗಡೆ ಮಾಡಬಹುದು.
4. ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ನಿಯಂತ್ರಣ: ವೇಫರ್ ಹ್ಯಾಂಡ್ಲಿಂಗ್ ಆರ್ಮ್ ಸುಧಾರಿತ ನಿಯಂತ್ರಣ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದ್ದು ಅದು ಪೂರ್ವನಿರ್ಧರಿತ ಕ್ರಿಯೆಯ ಅನುಕ್ರಮಗಳನ್ನು ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತವಾಗಿ ಕಾರ್ಯಗತಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ, ಉತ್ಪಾದನಾ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಮಾನವ ದೋಷಗಳನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಮತ್ತು ಅನುಕೂಲಗಳು
1.ನಿಖರ ಆಯಾಮಗಳು ಮತ್ತು ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆ.
2.High ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಬಿಗಿತ ಮತ್ತು ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಉಷ್ಣ ಏಕರೂಪತೆ, ದೀರ್ಘಾವಧಿಯ ಬಳಕೆಯು ವಿರೂಪವನ್ನು ಬಗ್ಗಿಸುವುದು ಸುಲಭವಲ್ಲ.
3.ಇದು ಮೃದುವಾದ ಮೇಲ್ಮೈ ಮತ್ತು ಉತ್ತಮ ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಹೀಗಾಗಿ ಕಣಗಳ ಮಾಲಿನ್ಯವಿಲ್ಲದೆ ಚಿಪ್ ಅನ್ನು ಸುರಕ್ಷಿತವಾಗಿ ನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ.
4. 106-108Ω ನಲ್ಲಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ನಿರೋಧಕತೆ, ಕಾಂತೀಯವಲ್ಲದ, ವಿರೋಧಿ ESD ನಿರ್ದಿಷ್ಟತೆಯ ಅಗತ್ಯತೆಗಳಿಗೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿ; ಇದು ಚಿಪ್ನ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಸ್ಥಿರ ವಿದ್ಯುತ್ ಸಂಗ್ರಹಣೆಯನ್ನು ತಡೆಯಬಹುದು.
5.ಗುಡ್ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ, ಕಡಿಮೆ ವಿಸ್ತರಣೆ ಗುಣಾಂಕ.
