ಟ್ಯಾಂಟಲಮ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪಿತ ಸಸೆಪ್ಟರ್ ಸಪೋರ್ಟ್ ಪ್ಲೇಟ್ನ ತೆಳುವಾದ ಪದರದಿಂದ ಮುಚ್ಚಲ್ಪಟ್ಟ ಒಂದು ಸಸೆಪ್ಟರ್ ಅಥವಾ ಬೆಂಬಲ ರಚನೆಯಾಗಿದೆಟ್ಯಾಂಟಲಮ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್. ಭೌತಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ (PVD) ಅಥವಾ ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಠೇವಣಿ (CVD) ಯಂತಹ ತಂತ್ರಗಳ ಮೂಲಕ ಸಸೆಪ್ಟರ್ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಈ ಲೇಪನವನ್ನು ರಚಿಸಬಹುದು, ಇದು ಸಸೆಪ್ಟರ್‌ಗೆ ಉನ್ನತ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ.ಟ್ಯಾಂಟಲಮ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್.
ಸೆಮಿಸೆರಾ ವಿವಿಧ ಘಟಕಗಳು ಮತ್ತು ವಾಹಕಗಳಿಗೆ ವಿಶೇಷವಾದ ಟ್ಯಾಂಟಲಮ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (TaC) ಲೇಪನಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ.ಸೆಮಿಸೆರಾ ಪ್ರಮುಖ ಲೇಪನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ರಾಸಾಯನಿಕ ಸಹಿಷ್ಣುತೆಯನ್ನು ಸಾಧಿಸಲು ಟ್ಯಾಂಟಲಮ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (TaC) ಲೇಪನಗಳನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ, SIC/GAN ಹರಳುಗಳು ಮತ್ತು EPI ಪದರಗಳ ಉತ್ಪನ್ನದ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ (ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಲೇಪಿತ TaC ಸಸೆಪ್ಟರ್), ಮತ್ತು ಪ್ರಮುಖ ರಿಯಾಕ್ಟರ್ ಘಟಕಗಳ ಜೀವನವನ್ನು ವಿಸ್ತರಿಸುವುದು. ಟ್ಯಾಂಟಲಮ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ TaC ಲೇಪನದ ಬಳಕೆಯು ಅಂಚಿನ ಸಮಸ್ಯೆಯನ್ನು ಪರಿಹರಿಸಲು ಮತ್ತು ಸ್ಫಟಿಕ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಲು, ಮತ್ತು ಸೆಮಿಸೆರಾ ಟ್ಯಾಂಟಲಮ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವನ್ನು (CVD) ಪರಿಹರಿಸಿದೆ, ಇದು ಅಂತರರಾಷ್ಟ್ರೀಯ ಸುಧಾರಿತ ಮಟ್ಟವನ್ನು ತಲುಪಿದೆ.
ವರ್ಷಗಳ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯ ನಂತರ, ಸೆಮಿಸೆರಾ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವನ್ನು ವಶಪಡಿಸಿಕೊಂಡಿದೆCVD TaCಆರ್ & ಡಿ ಇಲಾಖೆಯ ಜಂಟಿ ಪ್ರಯತ್ನಗಳೊಂದಿಗೆ. SiC ವೇಫರ್‌ಗಳ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ದೋಷಗಳು ಸಂಭವಿಸುವುದು ಸುಲಭ, ಆದರೆ ಬಳಸಿದ ನಂತರTaC, ವ್ಯತ್ಯಾಸವು ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿದೆ. ಕೆಳಗೆ TaC ನೊಂದಿಗೆ ಮತ್ತು ಇಲ್ಲದೆ ವೇಫರ್‌ಗಳ ಹೋಲಿಕೆ ಇದೆ, ಹಾಗೆಯೇ ಏಕ ಸ್ಫಟಿಕ ಬೆಳವಣಿಗೆಗಾಗಿ ಸಿಮಿಸೆರಾ ಭಾಗಗಳು.
ಟ್ಯಾಂಟಲಮ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪಿತ ಬೇಸ್ ಸಪೋರ್ಟ್ ಪ್ಲೇಟ್‌ಗಳ ಮುಖ್ಯ ಲಕ್ಷಣಗಳು:
1. ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಸ್ಥಿರತೆ: ಟ್ಯಾಂಟಲಮ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾದ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಕೆಲಸದ ವಾತಾವರಣದಲ್ಲಿ ಬೆಂಬಲ ಅಗತ್ಯಗಳಿಗೆ ಲೇಪಿತ ಬೇಸ್ ಬೆಂಬಲ ಫಲಕವನ್ನು ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.
2. ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕ: ಟ್ಯಾಂಟಲಮ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನವು ಉತ್ತಮ ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ರಾಸಾಯನಿಕ ತುಕ್ಕು ಮತ್ತು ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣವನ್ನು ವಿರೋಧಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಬೇಸ್ನ ಸೇವಾ ಜೀವನವನ್ನು ವಿಸ್ತರಿಸುತ್ತದೆ.
3. ಹೆಚ್ಚಿನ ಗಡಸುತನ ಮತ್ತು ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧ: ಟ್ಯಾಂಟಲಮ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನದ ಹೆಚ್ಚಿನ ಗಡಸುತನವು ಬೇಸ್ ಸಪೋರ್ಟ್ ಪ್ಲೇಟ್‌ಗೆ ಉತ್ತಮ ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧವನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ, ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧದ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಸಂದರ್ಭಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.
4. ರಾಸಾಯನಿಕ ಸ್ಥಿರತೆ: ಟ್ಯಾಂಟಲಮ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ವಿವಿಧ ರಾಸಾಯನಿಕ ಪದಾರ್ಥಗಳಿಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಇದು ಲೇಪಿತ ಬೇಸ್ ಸಪೋರ್ಟ್ ಪ್ಲೇಟ್ ಕೆಲವು ನಾಶಕಾರಿ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಉತ್ತಮವಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುವಂತೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
TaC ಜೊತೆಗೆ ಮತ್ತು ಇಲ್ಲದೆ
TaC ಬಳಸಿದ ನಂತರ (ಬಲ)
ಇದಲ್ಲದೆ, ಸೆಮಿಸೆರಾ ನTaC-ಲೇಪಿತ ಉತ್ಪನ್ನಗಳುಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ ಸುದೀರ್ಘ ಸೇವಾ ಜೀವನ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಪ್ರತಿರೋಧವನ್ನು ಪ್ರದರ್ಶಿಸುತ್ತದೆSiC ಲೇಪನಗಳು.ಪ್ರಯೋಗಾಲಯ ಮಾಪನಗಳು ನಮ್ಮ ಎಂಬುದನ್ನು ಪ್ರದರ್ಶಿಸಿವೆTaC ಲೇಪನಗಳುವಿಸ್ತೃತ ಅವಧಿಗೆ 2300 ಡಿಗ್ರಿ ಸೆಲ್ಸಿಯಸ್ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ಸ್ಥಿರವಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸಬಹುದು. ನಮ್ಮ ಮಾದರಿಗಳ ಕೆಲವು ಉದಾಹರಣೆಗಳನ್ನು ಕೆಳಗೆ ನೀಡಲಾಗಿದೆ:
