ಸೆಮಿಸೆರಾTaC ಕೋಟಿಂಗ್ ಚಕ್, ಅತ್ಯಾಧುನಿಕ ನಿರ್ವಾತ ಚಕ್ ಸಜ್ಜುಗೊಂಡಿದೆTaC ಲೇಪನಗಳು, ನಿರ್ದಿಷ್ಟವಾಗಿ ಅರೆವಾಹಕ ಕುಲುಮೆಗಳಿಗಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ. ಆಧುನಿಕ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳ ಕಠಿಣ ಬೇಡಿಕೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಲು ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ, ಈ ನವೀನ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವು ನಿಖರತೆ, ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆ ಮತ್ತು ದೀರ್ಘಾಯುಷ್ಯಕ್ಕಾಗಿ ಹೊಸ ಮಾನದಂಡವನ್ನು ಹೊಂದಿಸುತ್ತದೆ.
ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಿಕೆಯ ಹೃದಯಭಾಗದಲ್ಲಿ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ನಿಖರವಾದ ನಿಯಂತ್ರಣ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರತೆಯ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಅಗತ್ಯವಿದೆ. TaC ಕೋಟಿಂಗ್ ಚಕ್ ಸುಧಾರಿತವನ್ನು ಸಂಯೋಜಿಸುವ ಮೂಲಕ ಈ ಅಗತ್ಯವನ್ನು ಪರಿಹರಿಸುತ್ತದೆTaC (ಟಾಂಟಲಮ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್) ಲೇಪನಗಳುಅದರ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ, ಅಸಾಧಾರಣ ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆ, ಬಾಳಿಕೆ ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕ ತುಕ್ಕುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧವನ್ನು ಖಾತ್ರಿಪಡಿಸುತ್ತದೆ. ವಸ್ತುಗಳ ಈ ವಿಶಿಷ್ಟ ಸಂಯೋಜನೆಯು ಚಕ್ನ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ ಆದರೆ ಅದರ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ಜೀವಿತಾವಧಿಯನ್ನು ವಿಸ್ತರಿಸುತ್ತದೆ, ಲೆಕ್ಕವಿಲ್ಲದಷ್ಟು ಚಕ್ರಗಳಲ್ಲಿ ಸ್ಥಿರ ಫಲಿತಾಂಶಗಳನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ.
TaC ಕೋಟಿಂಗ್ ಚಕ್ನ ಪ್ರಮುಖ ಅನುಕೂಲವೆಂದರೆ ಸಂಪೂರ್ಣ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಚಕ್ರದಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಮಟ್ಟದ ನಿರ್ವಾತ ಸಮಗ್ರತೆಯನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ. ಔಟ್ಗ್ಯಾಸಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುವ ಮೂಲಕ, ಈ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವು ಅರೆವಾಹಕ ವಸ್ತುಗಳ ಪರಿಶುದ್ಧತೆ ಮತ್ತು ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಖಾತ್ರಿಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಸಾಧನದ ಉತ್ತಮ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಮತ್ತು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆಗೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ.
ಇದಲ್ಲದೆ, TaC ಕೋಟಿಂಗ್ ಚಕ್ ಸಾಟಿಯಿಲ್ಲದ ಬಹುಮುಖತೆಯನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ, ವಿವಿಧ ಗಾತ್ರಗಳು ಮತ್ತು ಜ್ಯಾಮಿತಿಗಳೊಂದಿಗೆ ವ್ಯಾಪಕ ಶ್ರೇಣಿಯ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ತಲಾಧಾರಗಳಿಗೆ ಅವಕಾಶ ಕಲ್ಪಿಸುತ್ತದೆ. TaC ಕೋಟಿಂಗ್ ಚಕ್ನ ಗ್ರಾಹಕೀಯಗೊಳಿಸಬಹುದಾದ ವಿನ್ಯಾಸವು ಅಸ್ತಿತ್ವದಲ್ಲಿರುವ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಫರ್ನೇಸ್ ಸಿಸ್ಟಮ್ಗಳಿಗೆ ತಡೆರಹಿತ ಏಕೀಕರಣವನ್ನು ಅನುಮತಿಸುತ್ತದೆ, ಅಲಭ್ಯತೆಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಉತ್ಪಾದಕತೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ.
TaC ಕೋಟಿಂಗ್ ಚಕ್ನೊಂದಿಗೆ, ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ತಯಾರಕರು ಹೆಚ್ಚಿನ ಥ್ರೋಪುಟ್, ಸುಧಾರಿತ ಇಳುವರಿ ಮತ್ತು ಒಟ್ಟಾರೆ ವೆಚ್ಚವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಬಹುದು. ಸಂಶೋಧನಾ ಪ್ರಯೋಗಾಲಯಗಳಲ್ಲಿ ಅಥವಾ ಹೆಚ್ಚಿನ ಪ್ರಮಾಣದ ಉತ್ಪಾದನಾ ಸೌಲಭ್ಯಗಳಲ್ಲಿ, ಈ ಸುಧಾರಿತ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವು ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾದ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಮಾನದಂಡಗಳನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುವಾಗ ನಾವೀನ್ಯತೆಯ ಗಡಿಗಳನ್ನು ತಳ್ಳಲು ಅರೆವಾಹಕ ವೃತ್ತಿಪರರಿಗೆ ಅಧಿಕಾರ ನೀಡುತ್ತದೆ.
TaC ಜೊತೆಗೆ ಮತ್ತು ಇಲ್ಲದೆ
TaC ಬಳಸಿದ ನಂತರ (ಬಲ)
ಇದಲ್ಲದೆ, ಸೆಮಿಸೆರಾ ನTaC-ಲೇಪಿತ ಉತ್ಪನ್ನಗಳುಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ ಸುದೀರ್ಘ ಸೇವಾ ಜೀವನ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಪ್ರತಿರೋಧವನ್ನು ಪ್ರದರ್ಶಿಸುತ್ತದೆSiC ಲೇಪನಗಳು.ಪ್ರಯೋಗಾಲಯ ಮಾಪನಗಳು ನಮ್ಮ ಎಂಬುದನ್ನು ಪ್ರದರ್ಶಿಸಿವೆTaC ಲೇಪನಗಳುವಿಸ್ತೃತ ಅವಧಿಗೆ 2300 ಡಿಗ್ರಿ ಸೆಲ್ಸಿಯಸ್ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ಸ್ಥಿರವಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸಬಹುದು. ನಮ್ಮ ಮಾದರಿಗಳ ಕೆಲವು ಉದಾಹರಣೆಗಳನ್ನು ಕೆಳಗೆ ನೀಡಲಾಗಿದೆ: