CVD TaC ಲೇಪನ

CVD TaC ಲೇಪನದ ಪರಿಚಯ:

CVD TaC ಲೇಪನವು ಒಂದು ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವಾಗಿದ್ದು, ಇದು ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಟ್ಯಾಂಟಲಮ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (TaC) ಲೇಪನವನ್ನು ಠೇವಣಿ ಮಾಡಲು ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆಯನ್ನು ಬಳಸುತ್ತದೆ. ಟ್ಯಾಂಟಲಮ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳೊಂದಿಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಸೆರಾಮಿಕ್ ವಸ್ತುವಾಗಿದೆ. CVD ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಅನಿಲ ಕ್ರಿಯೆಯ ಮೂಲಕ ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಏಕರೂಪದ TaC ಫಿಲ್ಮ್ ಅನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುತ್ತದೆ.

ಮುಖ್ಯ ಲಕ್ಷಣಗಳು:

ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಗಡಸುತನ ಮತ್ತು ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧ: ಟ್ಯಾಂಟಲಮ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಅತ್ಯಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಗಡಸುತನವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಮತ್ತು CVD TaC ಲೇಪನವು ತಲಾಧಾರದ ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧವನ್ನು ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ. ಕತ್ತರಿಸುವ ಉಪಕರಣಗಳು ಮತ್ತು ಅಚ್ಚುಗಳಂತಹ ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಡುಗೆ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಅನ್ವಯಗಳಿಗೆ ಇದು ಲೇಪನವನ್ನು ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.

ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಸ್ಥಿರತೆ: TaC ಲೇಪನಗಳು 2200 ° C ವರೆಗಿನ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಕುಲುಮೆ ಮತ್ತು ರಿಯಾಕ್ಟರ್ ಘಟಕಗಳನ್ನು ರಕ್ಷಿಸುತ್ತವೆ, ಉತ್ತಮ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಪ್ರದರ್ಶಿಸುತ್ತವೆ. ಇದು ತೀವ್ರತರವಾದ ತಾಪಮಾನದ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳಲ್ಲಿ ರಾಸಾಯನಿಕ ಮತ್ತು ಯಾಂತ್ರಿಕ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಅನ್ವಯಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.

ಅತ್ಯುತ್ತಮ ರಾಸಾಯನಿಕ ಸ್ಥಿರತೆ: ಟ್ಯಾಂಟಲಮ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಹೆಚ್ಚಿನ ಆಮ್ಲಗಳು ಮತ್ತು ಕ್ಷಾರಗಳಿಗೆ ಬಲವಾದ ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ ಮತ್ತು CVD TaC ಲೇಪನವು ನಾಶಕಾರಿ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ತಲಾಧಾರಕ್ಕೆ ಹಾನಿಯಾಗುವುದನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ತಡೆಯುತ್ತದೆ.

ಹೆಚ್ಚಿನ ಕರಗುವ ಬಿಂದು: ಟ್ಯಾಂಟಲಮ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಹೆಚ್ಚಿನ ಕರಗುವ ಬಿಂದುವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ (ಸರಿಸುಮಾರು 3880 ° C), CVD TaC ಲೇಪನವನ್ನು ಕರಗಿಸದೆ ಅಥವಾ ಕ್ಷೀಣಿಸದೆ ತೀವ್ರವಾದ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲು ಅನುಮತಿಸುತ್ತದೆ.

ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ: TaC ಲೇಪನವು ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಇದು ಅಧಿಕ-ತಾಪಮಾನದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಶಾಖವನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಹೊರಹಾಕಲು ಮತ್ತು ಸ್ಥಳೀಯ ಅಧಿಕ ತಾಪವನ್ನು ತಡೆಯಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ.

ಸಂಭಾವ್ಯ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್‌ಗಳು:

• ಗ್ಯಾಲಿಯಂ ನೈಟ್ರೈಡ್ (GaN) ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ CVD ರಿಯಾಕ್ಟರ್ ಘಟಕಗಳು ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾರಿಯರ್‌ಗಳು, ಉಪಗ್ರಹ ಭಕ್ಷ್ಯಗಳು, ಶವರ್‌ಹೆಡ್‌ಗಳು, ಸೀಲಿಂಗ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಸಸೆಪ್ಟರ್‌ಗಳು

• ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್, ಗ್ಯಾಲಿಯಂ ನೈಟ್ರೈಡ್ ಮತ್ತು ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ನೈಟ್ರೈಡ್ (AlN) ಕ್ರೂಸಿಬಲ್‌ಗಳು, ಸೀಡ್ ಹೋಲ್ಡರ್‌ಗಳು, ಮಾರ್ಗದರ್ಶಿ ಉಂಗುರಗಳು ಮತ್ತು ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳು ಸೇರಿದಂತೆ ಸ್ಫಟಿಕ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ಘಟಕಗಳು

• ಪ್ರತಿರೋಧದ ತಾಪನ ಅಂಶಗಳು, ಇಂಜೆಕ್ಷನ್ ನಳಿಕೆಗಳು, ಮರೆಮಾಚುವ ಉಂಗುರಗಳು ಮತ್ತು ಬ್ರೇಜಿಂಗ್ ಜಿಗ್‌ಗಳು ಸೇರಿದಂತೆ ಕೈಗಾರಿಕಾ ಘಟಕಗಳು

ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳು:

• ತಾಪಮಾನವು 2000 ° C ಗಿಂತ ಸ್ಥಿರವಾಗಿರುತ್ತದೆ, ತೀವ್ರತರವಾದ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯನ್ನು ಅನುಮತಿಸುತ್ತದೆ
•ಹೈಡ್ರೋಜನ್ (Hz), ಅಮೋನಿಯಾ (NH3), ಮೊನೊಸಿಲೇನ್ (SiH4) ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ (Si) ಗೆ ನಿರೋಧಕ, ಕಠಿಣ ರಾಸಾಯನಿಕ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ರಕ್ಷಣೆ ನೀಡುತ್ತದೆ
• ಇದರ ಥರ್ಮಲ್ ಶಾಕ್ ರೆಸಿಸ್ಟೆನ್ಸ್ ವೇಗವಾದ ಆಪರೇಟಿಂಗ್ ಸೈಕಲ್‌ಗಳನ್ನು ಶಕ್ತಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ
• ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಬಲವಾದ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಸುದೀರ್ಘ ಸೇವಾ ಜೀವನವನ್ನು ಖಾತ್ರಿಪಡಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಯಾವುದೇ ಲೇಪನದ ಡಿಲಾಮಿನೇಷನ್ ಇಲ್ಲ.
• ಅನಗತ್ಯ ಕಲ್ಮಶಗಳು ಅಥವಾ ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕಗಳನ್ನು ತೊಡೆದುಹಾಕಲು ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಹೈ ಶುದ್ಧತೆ
• ಬಿಗಿಯಾದ ಆಯಾಮದ ಸಹಿಷ್ಣುತೆಗಳಿಗೆ ಕನ್ಫಾರ್ಮಲ್ ಕೋಟಿಂಗ್ ಕವರೇಜ್

ತಾಂತ್ರಿಕ ವಿಶೇಷಣಗಳು:

CVD ಯಿಂದ ದಟ್ಟವಾದ ಟ್ಯಾಂಟಲಮ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನಗಳನ್ನು ತಯಾರಿಸುವುದು（