TaC ಲೇಪಿತ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಮಾರ್ಗದರ್ಶಿ ಉಂಗುರಗಳುನ ತೆಳುವಾದ ಪದರದ ಶೇಖರಣೆಯನ್ನು ಉಲ್ಲೇಖಿಸಿಟ್ಯಾಂಟಲಮ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ಅದರ ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧ, ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಪ್ರತಿರೋಧ ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಲು ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಮಾರ್ಗದರ್ಶಿ ಉಂಗುರದ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ. ಭೌತಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ (PVD) ಅಥವಾ ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ (CVD) ಯಂತಹ ತಂತ್ರಗಳಿಂದ ಈ ಲೇಪನವು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಮಾರ್ಗದರ್ಶಿ ಉಂಗುರದ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ರೂಪುಗೊಳ್ಳುತ್ತದೆ.
ಸೆಮಿಸೆರಾ ವಿವಿಧ ಘಟಕಗಳು ಮತ್ತು ವಾಹಕಗಳಿಗೆ ವಿಶೇಷವಾದ ಟ್ಯಾಂಟಲಮ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (TaC) ಲೇಪನಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ.ಸೆಮಿಸೆರಾ ಪ್ರಮುಖ ಲೇಪನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ರಾಸಾಯನಿಕ ಸಹಿಷ್ಣುತೆಯನ್ನು ಸಾಧಿಸಲು ಟ್ಯಾಂಟಲಮ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (TaC) ಲೇಪನಗಳನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ, SIC/GAN ಹರಳುಗಳು ಮತ್ತು EPI ಪದರಗಳ ಉತ್ಪನ್ನದ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ (ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಲೇಪಿತ TaC ಸಸೆಪ್ಟರ್), ಮತ್ತು ಪ್ರಮುಖ ರಿಯಾಕ್ಟರ್ ಘಟಕಗಳ ಜೀವನವನ್ನು ವಿಸ್ತರಿಸುವುದು. ಟ್ಯಾಂಟಲಮ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ TaC ಲೇಪನದ ಬಳಕೆಯು ಅಂಚಿನ ಸಮಸ್ಯೆಯನ್ನು ಪರಿಹರಿಸಲು ಮತ್ತು ಸ್ಫಟಿಕ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಲು, ಮತ್ತು ಸೆಮಿಸೆರಾ ಟ್ಯಾಂಟಲಮ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವನ್ನು (CVD) ಪರಿಹರಿಸಿದೆ, ಇದು ಅಂತರರಾಷ್ಟ್ರೀಯ ಸುಧಾರಿತ ಮಟ್ಟವನ್ನು ತಲುಪಿದೆ.
ವರ್ಷಗಳ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯ ನಂತರ, ಸೆಮಿಸೆರಾ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವನ್ನು ವಶಪಡಿಸಿಕೊಂಡಿದೆCVD TaCಆರ್ & ಡಿ ಇಲಾಖೆಯ ಜಂಟಿ ಪ್ರಯತ್ನಗಳೊಂದಿಗೆ. SiC ವೇಫರ್‌ಗಳ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ದೋಷಗಳು ಸಂಭವಿಸುವುದು ಸುಲಭ, ಆದರೆ ಬಳಸಿದ ನಂತರTaC, ವ್ಯತ್ಯಾಸವು ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿದೆ. ಕೆಳಗೆ TaC ನೊಂದಿಗೆ ಮತ್ತು ಇಲ್ಲದೆ ವೇಫರ್‌ಗಳ ಹೋಲಿಕೆ ಇದೆ, ಹಾಗೆಯೇ ಏಕ ಸ್ಫಟಿಕ ಬೆಳವಣಿಗೆಗಾಗಿ ಸಿಮಿಸೆರಾ ಭಾಗಗಳು.
TaC ಲೇಪಿತ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಮಾರ್ಗದರ್ಶಿ ಉಂಗುರಗಳ ಮುಖ್ಯ ಲಕ್ಷಣಗಳು:
1. ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಪ್ರತಿರೋಧ: TaC ಲೇಪನವು ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾದ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳಬಹುದು.
2. ಪ್ರತಿರೋಧವನ್ನು ಧರಿಸಿ: ಟ್ಯಾಂಟಲಮ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ತೆಳುವಾದ ಪದರದ ಹೆಚ್ಚಿನ ಗಡಸುತನವು ಮಾರ್ಗದರ್ಶಿ ಉಂಗುರಕ್ಕೆ ಉತ್ತಮ ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧವನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಅದರ ಸೇವಾ ಜೀವನವನ್ನು ವಿಸ್ತರಿಸುತ್ತದೆ.
3. ರಾಸಾಯನಿಕ ಸ್ಥಿರತೆ: TaC ಲೇಪನವು ರಾಸಾಯನಿಕ ಸವೆತದ ವಿರುದ್ಧ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಇದು ಕೆಲವು ನಾಶಕಾರಿ ಮಾಧ್ಯಮಗಳಲ್ಲಿನ ಅನ್ವಯಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.
4. ಘರ್ಷಣೆಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಿ: TaC ಲೇಪನವು ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಗೈಡ್ ರಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಇತರ ಘಟಕಗಳ ನಡುವಿನ ಘರ್ಷಣೆಯನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಯಾಂತ್ರಿಕ ಮುದ್ರೆಗಳ ದಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ.
TaC ಜೊತೆಗೆ ಮತ್ತು ಇಲ್ಲದೆ
TaC ಬಳಸಿದ ನಂತರ (ಬಲ)
ಇದಲ್ಲದೆ, ಸೆಮಿಸೆರಾ ನTaC-ಲೇಪಿತ ಉತ್ಪನ್ನಗಳುಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ ಸುದೀರ್ಘ ಸೇವಾ ಜೀವನ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಪ್ರತಿರೋಧವನ್ನು ಪ್ರದರ್ಶಿಸುತ್ತದೆSiC ಲೇಪನಗಳು.ಪ್ರಯೋಗಾಲಯ ಮಾಪನಗಳು ನಮ್ಮ ಎಂಬುದನ್ನು ಪ್ರದರ್ಶಿಸಿವೆTaC ಲೇಪನಗಳುವಿಸ್ತೃತ ಅವಧಿಗೆ 2300 ಡಿಗ್ರಿ ಸೆಲ್ಸಿಯಸ್ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ಸ್ಥಿರವಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸಬಹುದು. ನಮ್ಮ ಮಾದರಿಗಳ ಕೆಲವು ಉದಾಹರಣೆಗಳನ್ನು ಕೆಳಗೆ ನೀಡಲಾಗಿದೆ:
