ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸಬ್‌ಸ್ಟ್ರೇಟ್‌ಗಳು|SiC ವೇಫರ್ಸ್

ಸಂಕ್ಷಿಪ್ತ ವಿವರಣೆ:

ಸೆಮಿಸೆರಾ ಎನರ್ಜಿ ಟೆಕ್ನಾಲಜಿ ಕಂ., ಲಿಮಿಟೆಡ್ ವೇಫರ್ ಮತ್ತು ಸುಧಾರಿತ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉಪಭೋಗ್ಯಗಳಲ್ಲಿ ಪರಿಣತಿ ಹೊಂದಿರುವ ಪ್ರಮುಖ ಪೂರೈಕೆದಾರ. ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉತ್ಪಾದನೆ, ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುಜ್ಜನಕ ಉದ್ಯಮ ಮತ್ತು ಇತರ ಸಂಬಂಧಿತ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳಿಗೆ ಉತ್ತಮ ಗುಣಮಟ್ಟದ, ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ ಮತ್ತು ನವೀನ ಉತ್ಪನ್ನಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸಲು ನಾವು ಸಮರ್ಪಿತರಾಗಿದ್ದೇವೆ.

ನಮ್ಮ ಉತ್ಪನ್ನದ ಸಾಲಿನಲ್ಲಿ SiC/TaC ಲೇಪಿತ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಉತ್ಪನ್ನಗಳು ಮತ್ತು ಸೆರಾಮಿಕ್ ಉತ್ಪನ್ನಗಳು, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್, ಸಿಲಿಕಾನ್ ನೈಟ್ರೈಡ್, ಮತ್ತು ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಆಕ್ಸೈಡ್ ಮತ್ತು ಇತ್ಯಾದಿಗಳಂತಹ ವಿವಿಧ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿದೆ.

ಪ್ರಸ್ತುತ, ನಾವು ಶುದ್ಧತೆಯ 99.9999% SiC ಲೇಪನ ಮತ್ತು 99.9% ಮರುಸ್ಫಟಿಕೀಕರಿಸಿದ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಅನ್ನು ಒದಗಿಸುವ ಏಕೈಕ ತಯಾರಕರಾಗಿದ್ದೇವೆ. ಗರಿಷ್ಠ SiC ಲೇಪನ ಉದ್ದವನ್ನು ನಾವು 2640mm ಮಾಡಬಹುದು.

 

ಉತ್ಪನ್ನದ ವಿವರ

ಉತ್ಪನ್ನ ಟ್ಯಾಗ್‌ಗಳು

SiC-ವೇಫರ್

ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (SiC) ಏಕ ಸ್ಫಟಿಕ ವಸ್ತುವು ದೊಡ್ಡ ಬ್ಯಾಂಡ್ ಗ್ಯಾಪ್ ಅಗಲ (~Si 3 ಬಾರಿ), ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ (~Si 3.3 ಬಾರಿ ಅಥವಾ GaAs 10 ಬಾರಿ), ಹೆಚ್ಚಿನ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಶುದ್ಧತ್ವ ವಲಸೆ ದರ (~Si 2.5 ಪಟ್ಟು), ಹೆಚ್ಚಿನ ಸ್ಥಗಿತ ವಿದ್ಯುತ್ ಕ್ಷೇತ್ರ (~Si 10 ಬಾರಿ ಅಥವಾ GaAs 5 ಬಾರಿ) ಮತ್ತು ಇತರ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು.

SiC ಸಾಧನಗಳು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ, ಅಧಿಕ ಒತ್ತಡ, ಅಧಿಕ ಆವರ್ತನ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಶಕ್ತಿಯ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಸಾಧನಗಳು ಮತ್ತು ಏರೋಸ್ಪೇಸ್, ​​ಮಿಲಿಟರಿ, ಪರಮಾಣು ಶಕ್ತಿಯಂತಹ ತೀವ್ರವಾದ ಪರಿಸರದ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳ ಕ್ಷೇತ್ರದಲ್ಲಿ ಭರಿಸಲಾಗದ ಪ್ರಯೋಜನಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿವೆ, ಪ್ರಾಯೋಗಿಕವಾಗಿ ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ಅರೆವಾಹಕ ವಸ್ತು ಸಾಧನಗಳ ದೋಷಗಳನ್ನು ಸರಿದೂಗಿಸುತ್ತದೆ. ಅನ್ವಯಗಳು, ಮತ್ತು ಕ್ರಮೇಣ ಪವರ್ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್‌ಗಳ ಮುಖ್ಯವಾಹಿನಿಯಾಗುತ್ತಿವೆ.

4H-SiC ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ತಲಾಧಾರದ ವಿಶೇಷಣಗಳು

ಐಟಂ 项目

ವಿಶೇಷಣಗಳು 参数

ಪಾಲಿಟೈಪ್
晶型

4H -SiC

6H- SiC

ವ್ಯಾಸ
晶圆直径

2 ಇಂಚು | 3 ಇಂಚು | 4 ಇಂಚು | 6 ಇಂಚು

2 ಇಂಚು | 3 ಇಂಚು | 4 ಇಂಚು | 6 ಇಂಚು

ದಪ್ಪ
厚度

330 μm ~ 350 μm

330 μm ~ 350 μm

ವಾಹಕತೆ
导电类型

ಎನ್ - ಟೈಪ್ / ಸೆಮಿ-ಇನ್ಸುಲೇಟಿಂಗ್
N型导电片/ 半绝缘片

ಎನ್ - ಟೈಪ್ / ಸೆಮಿ-ಇನ್ಸುಲೇಟಿಂಗ್
N型导电片/ 半绝缘片

ಡೋಪಾಂಟ್
掺杂剂

N2 (ನೈಟ್ರೋಜನ್)V (ವನಾಡಿಯಮ್)

N2 (ನೈಟ್ರೋಜನ್) ವಿ (ವನಾಡಿಯಮ್)

ದೃಷ್ಟಿಕೋನ
晶向

ಅಕ್ಷದಲ್ಲಿ <0001>
ಆಫ್ ಆಕ್ಸಿಸ್ <0001> ಆಫ್ 4°

ಅಕ್ಷದಲ್ಲಿ <0001>
ಆಫ್ ಆಕ್ಸಿಸ್ <0001> ಆಫ್ 4°

ಪ್ರತಿರೋಧಕತೆ
电阻率

0.015 ~ 0.03 ಓಮ್-ಸೆಂ
(4H-N)

0.02 ~ 0.1 ಓಮ್-ಸೆಂ
(6H-N)

ಮೈಕ್ರೊಪೈಪ್ ಸಾಂದ್ರತೆ (MPD)
微管密度

≤10/cm2 ~ ≤1/cm2

≤10/cm2 ~ ≤1/cm2

ಟಿಟಿವಿ
总厚度变化

≤ 15 μm

≤ 15 μm

ಬಿಲ್ಲು / ವಾರ್ಪ್
翘曲度

≤25 μm

≤25 μm

ಮೇಲ್ಮೈ
表面处理

DSP/SSP

DSP/SSP

ಗ್ರೇಡ್
产品等级

ಉತ್ಪಾದನೆ / ಸಂಶೋಧನಾ ದರ್ಜೆ

ಉತ್ಪಾದನೆ / ಸಂಶೋಧನಾ ದರ್ಜೆ

ಕ್ರಿಸ್ಟಲ್ ಸ್ಟಾಕಿಂಗ್ ಸೀಕ್ವೆನ್ಸ್
堆积方式

ABCB

ABCABC

ಲ್ಯಾಟಿಸ್ ಪ್ಯಾರಾಮೀಟರ್
晶格参数

a=3.076A, c=10.053A

a=3.073A, c=15.117A

ಉದಾ/ಇವಿ(ಬ್ಯಾಂಡ್-ಗ್ಯಾಪ್)
禁带宽度

3.27 ಇವಿ

3.02 ಇವಿ

ε(ಡೈಎಲೆಕ್ಟ್ರಿಕ್ ಸ್ಥಿರ)
介电常数

9.6

9.66

ವಕ್ರೀಭವನ ಸೂಚ್ಯಂಕ
折射率

n0 =2.719 ne =2.777

n0 =2.707 , ne =2.755

6H-SiC ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ತಲಾಧಾರದ ವಿಶೇಷಣಗಳು

ಐಟಂ 项目

ವಿಶೇಷಣಗಳು 参数

ಪಾಲಿಟೈಪ್
晶型

6H-SiC

ವ್ಯಾಸ
晶圆直径

4 ಇಂಚು | 6 ಇಂಚು

ದಪ್ಪ
厚度

350μm ~ 450μm

ವಾಹಕತೆ
导电类型

ಎನ್ - ಟೈಪ್ / ಸೆಮಿ-ಇನ್ಸುಲೇಟಿಂಗ್
N型导电片/ 半绝缘片

ಡೋಪಾಂಟ್
掺杂剂

N2(ನೈಟ್ರೋಜನ್)
ವಿ (ವನಾಡಿಯಮ್)

ದೃಷ್ಟಿಕೋನ
晶向

<0001> ಆಫ್ 4°± 0.5°

ಪ್ರತಿರೋಧಕತೆ
电阻率

0.02 ~ 0.1 ಓಮ್-ಸೆಂ
(6H-N ಪ್ರಕಾರ)

ಮೈಕ್ರೊಪೈಪ್ ಸಾಂದ್ರತೆ (MPD)
微管密度

≤ 10/ಸೆಂ2

ಟಿಟಿವಿ
总厚度变化

≤ 15 μm

ಬಿಲ್ಲು / ವಾರ್ಪ್
翘曲度

≤25 μm

ಮೇಲ್ಮೈ
表面处理

Si ಮುಖ: CMP, ಎಪಿ-ಸಿದ್ಧ
ಸಿ ಮುಖ: ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಪೋಲಿಷ್

ಗ್ರೇಡ್
产品等级

ಸಂಶೋಧನಾ ದರ್ಜೆ

ಸೆಮಿಸೆರಾ ಕೆಲಸದ ಸ್ಥಳ ಸೆಮಿಸೆರಾ ಕೆಲಸದ ಸ್ಥಳ 2 ಸಲಕರಣೆ ಯಂತ್ರ CNN ಸಂಸ್ಕರಣೆ, ರಾಸಾಯನಿಕ ಶುದ್ಧೀಕರಣ, CVD ಲೇಪನ ನಮ್ಮ ಸೇವೆ


  • ಹಿಂದಿನ:
  • ಮುಂದೆ: