ಸೆಮಿಸೆರಾ ನಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಆಧುನಿಕ ಅರೆವಾಹಕ ಅನ್ವಯಗಳ ಕಠಿಣ ಬೇಡಿಕೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಲು ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ. ಸುಧಾರಿತ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ತಂತ್ರಗಳನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಳ್ಳುವ ಮೂಲಕ, ಪ್ರತಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಪದರವು ಅಸಾಧಾರಣ ಸ್ಫಟಿಕದಂತಹ ಗುಣಮಟ್ಟ, ಏಕರೂಪತೆ ಮತ್ತು ಕನಿಷ್ಠ ದೋಷದ ಸಾಂದ್ರತೆಯನ್ನು ಪ್ರದರ್ಶಿಸುತ್ತದೆ ಎಂದು ನಾವು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳುತ್ತೇವೆ. ಉನ್ನತ-ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಪವರ್ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ ಅನ್ನು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಪಡಿಸಲು ಈ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿವೆ, ಅಲ್ಲಿ ದಕ್ಷತೆ ಮತ್ತು ಉಷ್ಣ ನಿರ್ವಹಣೆಯು ಅತ್ಯುನ್ನತವಾಗಿದೆ.
ದಿಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಸೆಮಿಸೆರಾದಲ್ಲಿನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ನಿಖರವಾದ ದಪ್ಪ ಮತ್ತು ಡೋಪಿಂಗ್ ನಿಯಂತ್ರಣದೊಂದಿಗೆ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಲೇಯರ್‌ಗಳನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸಲು ಆಪ್ಟಿಮೈಸ್ ಮಾಡಲಾಗಿದೆ, ಇದು ಸಾಧನಗಳ ಶ್ರೇಣಿಯಾದ್ಯಂತ ಸ್ಥಿರವಾದ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಖಾತ್ರಿಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ. ಎಲೆಕ್ಟ್ರಿಕ್ ವಾಹನಗಳು, ನವೀಕರಿಸಬಹುದಾದ ಶಕ್ತಿ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಆವರ್ತನ ಸಂವಹನಗಳಲ್ಲಿನ ಅನ್ವಯಗಳಿಗೆ ಈ ಮಟ್ಟದ ನಿಖರತೆಯು ಅತ್ಯಗತ್ಯವಾಗಿರುತ್ತದೆ, ಅಲ್ಲಿ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆ ಮತ್ತು ದಕ್ಷತೆಯು ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ.
ಇದಲ್ಲದೆ, ಸೆಮಿಸೆರಾ ನಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿವರ್ಧಿತ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಸ್ಥಗಿತ ವೋಲ್ಟೇಜ್ ಅನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ, ಇದು ತೀವ್ರ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳಲ್ಲಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುವ ಸಾಧನಗಳಿಗೆ ಆದ್ಯತೆಯ ಆಯ್ಕೆಯಾಗಿದೆ. ಈ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ದೀರ್ಘಾವಧಿಯ ಸಾಧನದ ಜೀವಿತಾವಧಿ ಮತ್ತು ಸುಧಾರಿತ ಒಟ್ಟಾರೆ ಸಿಸ್ಟಮ್ ದಕ್ಷತೆಗೆ ಕೊಡುಗೆ ನೀಡುತ್ತವೆ, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ-ಶಕ್ತಿ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ.
ಸೆಮಿಸೆರಾ ಗ್ರಾಹಕೀಕರಣ ಆಯ್ಕೆಗಳನ್ನು ಸಹ ಒದಗಿಸುತ್ತದೆಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿ, ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಸಾಧನದ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುವ ಸೂಕ್ತವಾದ ಪರಿಹಾರಗಳನ್ನು ಅನುಮತಿಸುತ್ತದೆ. ಸಂಶೋಧನೆ ಅಥವಾ ದೊಡ್ಡ-ಪ್ರಮಾಣದ ಉತ್ಪಾದನೆಗಾಗಿ, ನಮ್ಮ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಲೇಯರ್‌ಗಳನ್ನು ಮುಂದಿನ ಪೀಳಿಗೆಯ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ನಾವೀನ್ಯತೆಗಳನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸಲು ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ, ಹೆಚ್ಚು ಶಕ್ತಿಶಾಲಿ, ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ಮತ್ತು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಸಾಧನಗಳ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ.
ಅತ್ಯಾಧುನಿಕ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ ಮತ್ತು ಕಠಿಣ ಗುಣಮಟ್ಟದ ನಿಯಂತ್ರಣ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳನ್ನು ಸಂಯೋಜಿಸುವ ಮೂಲಕ, ಸೆಮಿಸೆರಾ ನಮ್ಮದನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಉತ್ಪನ್ನಗಳು ಕೇವಲ ಪೂರೈಸುವುದಿಲ್ಲ ಆದರೆ ಉದ್ಯಮದ ಮಾನದಂಡಗಳನ್ನು ಮೀರುತ್ತದೆ. ಉತ್ಕೃಷ್ಟತೆಯ ಈ ಬದ್ಧತೆಯು ನಮ್ಮ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಲೇಯರ್‌ಗಳನ್ನು ಸುಧಾರಿತ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್‌ಗಳಿಗೆ ಆದರ್ಶ ಅಡಿಪಾಯವನ್ನಾಗಿ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಪವರ್ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ ಮತ್ತು ಆಪ್ಟೋಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್‌ನಲ್ಲಿ ಪ್ರಗತಿಗೆ ದಾರಿ ಮಾಡಿಕೊಡುತ್ತದೆ.
| ವಸ್ತುಗಳು | ಉತ್ಪಾದನೆ | ಸಂಶೋಧನೆ | ನಕಲಿ |
| ಕ್ರಿಸ್ಟಲ್ ನಿಯತಾಂಕಗಳು | |||
| ಪಾಲಿಟೈಪ್ | 4H | ||
| ಮೇಲ್ಮೈ ದೃಷ್ಟಿಕೋನ ದೋಷ | <11-20 >4±0.15° | ||
| ವಿದ್ಯುತ್ ನಿಯತಾಂಕಗಳು | |||
| ಡೋಪಾಂಟ್ | ಎನ್-ಟೈಪ್ ಸಾರಜನಕ | ||
| ಪ್ರತಿರೋಧಕತೆ | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| ಯಾಂತ್ರಿಕ ನಿಯತಾಂಕಗಳು | |||
| ವ್ಯಾಸ | 150.0 ± 0.2mm | ||
| ದಪ್ಪ | 350 ± 25 μm | ||
| ಪ್ರಾಥಮಿಕ ಫ್ಲಾಟ್ ಓರಿಯಂಟೇಶನ್ | [1-100]±5° | ||
| ಪ್ರಾಥಮಿಕ ಫ್ಲಾಟ್ ಉದ್ದ | 47.5 ± 1.5mm | ||
| ಸೆಕೆಂಡರಿ ಫ್ಲಾಟ್ | ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ | ||
| ಟಿಟಿವಿ | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| ಬಿಲ್ಲು | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| ವಾರ್ಪ್ | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| ಮುಂಭಾಗ (Si-ಮುಖ) ಒರಟುತನ (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| ರಚನೆ | |||
| ಮೈಕ್ರೊಪೈಪ್ ಸಾಂದ್ರತೆ | <1 EA/cm2 | <10 EA/cm2 | <15 ಇಎ/ಸೆಂ2 |
| ಲೋಹದ ಕಲ್ಮಶಗಳು | ≤5E10 ಪರಮಾಣುಗಳು/ಸೆಂ2 | NA | |
| BPD | ≤1500 EA/cm2 | ≤3000 EA/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 EA/cm2 | ≤1000 EA/cm2 | NA |
| ಮುಂಭಾಗದ ಗುಣಮಟ್ಟ | |||
| ಮುಂಭಾಗ | Si | ||
| ಮೇಲ್ಮೈ ಮುಕ್ತಾಯ | ಸಿ-ಫೇಸ್ CMP | ||
| ಕಣಗಳು | ≤60ea/ವೇಫರ್ (ಗಾತ್ರ≥0.3μm) | NA | |
| ಗೀರುಗಳು | ≤5ea/mm. ಸಂಚಿತ ಉದ್ದ ≤ವ್ಯಾಸ | ಸಂಚಿತ ಉದ್ದ≤2*ವ್ಯಾಸ | NA |
| ಕಿತ್ತಳೆ ಸಿಪ್ಪೆ / ಹೊಂಡ / ಕಲೆಗಳು / ಬಿರುಕುಗಳು / ಮಾಲಿನ್ಯ | ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ | NA | |
| ಎಡ್ಜ್ ಚಿಪ್ಸ್/ಇಂಡೆಂಟ್‌ಗಳು/ಫ್ರಾಕ್ಚರ್/ಹೆಕ್ಸ್ ಪ್ಲೇಟ್‌ಗಳು | ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ | ||
| ಪಾಲಿಟೈಪ್ ಪ್ರದೇಶಗಳು | ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ | ಸಂಚಿತ ಪ್ರದೇಶ≤20% | ಸಂಚಿತ ಪ್ರದೇಶ≤30% |
| ಮುಂಭಾಗದ ಲೇಸರ್ ಗುರುತು | ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ | ||
| ಹಿಂದಿನ ಗುಣಮಟ್ಟ | |||
| ಬ್ಯಾಕ್ ಫಿನಿಶ್ | ಸಿ-ಫೇಸ್ CMP | ||
| ಗೀರುಗಳು | ≤5ea/mm, ಸಂಚಿತ ಉದ್ದ≤2*ವ್ಯಾಸ | NA | |
| ಹಿಂಭಾಗದ ದೋಷಗಳು (ಎಡ್ಜ್ ಚಿಪ್ಸ್/ಇಂಡೆಂಟ್‌ಗಳು) | ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ | ||
| ಬೆನ್ನು ಒರಟುತನ | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| ಹಿಂದಿನ ಲೇಸರ್ ಗುರುತು | 1 ಮಿಮೀ (ಮೇಲಿನ ತುದಿಯಿಂದ) | ||
| ಎಡ್ಜ್ | |||
| ಎಡ್ಜ್ | ಚೇಂಫರ್ | ||
| ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ | |||
| ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ | ನಿರ್ವಾತ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್‌ನೊಂದಿಗೆ ಎಪಿ-ಸಿದ್ಧ ಬಹು-ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾಸೆಟ್ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ | ||
| *ಟಿಪ್ಪಣಿಗಳು: "NA" ಎಂದರೆ ಯಾವುದೇ ವಿನಂತಿಯನ್ನು ಉಲ್ಲೇಖಿಸದ ಐಟಂಗಳು SEMI-STD ಅನ್ನು ಉಲ್ಲೇಖಿಸಬಹುದು. | |||
