ಸೆಮಿಸೆರಾಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಲೇಪನಅತ್ಯಂತ ಗಟ್ಟಿಯಾದ ಮತ್ತು ಉಡುಗೆ-ನಿರೋಧಕ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (SiC) ವಸ್ತುಗಳಿಂದ ಮಾಡಲ್ಪಟ್ಟ ಉನ್ನತ-ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ರಕ್ಷಣಾತ್ಮಕ ಲೇಪನವಾಗಿದೆ. ಲೇಪನವನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ CVD ಅಥವಾ PVD ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಿಂದ ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಸಂಗ್ರಹಿಸಲಾಗುತ್ತದೆಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಕಣಗಳು, ಅತ್ಯುತ್ತಮ ರಾಸಾಯನಿಕ ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ. ಆದ್ದರಿಂದ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಲೇಪನವನ್ನು ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಸಲಕರಣೆಗಳ ಪ್ರಮುಖ ಘಟಕಗಳಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ,SiC ಲೇಪನ1600 ° C ವರೆಗಿನ ಅತ್ಯಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನವನ್ನು ತಡೆದುಕೊಳ್ಳಬಲ್ಲದು, ಆದ್ದರಿಂದ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಲೇಪನವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಅಥವಾ ನಾಶಕಾರಿ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಹಾನಿಯನ್ನು ತಡೆಗಟ್ಟಲು ಉಪಕರಣಗಳು ಅಥವಾ ಸಾಧನಗಳಿಗೆ ರಕ್ಷಣಾತ್ಮಕ ಪದರವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಅದೇ ಸಮಯದಲ್ಲಿ,ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಲೇಪನಆಮ್ಲಗಳು, ಕ್ಷಾರಗಳು, ಆಕ್ಸೈಡ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಇತರ ರಾಸಾಯನಿಕ ಕಾರಕಗಳ ಸವೆತವನ್ನು ವಿರೋಧಿಸಬಹುದು ಮತ್ತು ವಿವಿಧ ರಾಸಾಯನಿಕ ಪದಾರ್ಥಗಳಿಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತದೆ. ಆದ್ದರಿಂದ, ಈ ಉತ್ಪನ್ನವು ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ವಿವಿಧ ನಾಶಕಾರಿ ಪರಿಸರಕ್ಕೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.
ಇದಲ್ಲದೆ, ಇತರ ಸೆರಾಮಿಕ್ ವಸ್ತುಗಳೊಂದಿಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ, SiC ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ ಮತ್ತು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಶಾಖವನ್ನು ನಡೆಸುತ್ತದೆ. ಈ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯವು ನಿಖರವಾದ ತಾಪಮಾನ ನಿಯಂತ್ರಣದ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಅರೆವಾಹಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆಯನ್ನು ನಿರ್ಧರಿಸುತ್ತದೆಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಲೇಪನಶಾಖವನ್ನು ಸಮವಾಗಿ ಹರಡಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಸ್ಥಳೀಯ ಅಧಿಕ ತಾಪವನ್ನು ತಡೆಯುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸಾಧನವು ಸೂಕ್ತ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
| ಸಿವಿಡಿ ಸಿಕ್ ಲೇಪನದ ಮೂಲ ಭೌತಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು | |
| ಆಸ್ತಿ | ವಿಶಿಷ್ಟ ಮೌಲ್ಯ |
| ಕ್ರಿಸ್ಟಲ್ ರಚನೆ | FCC β ಹಂತದ ಪಾಲಿಕ್ರಿಸ್ಟಲಿನ್, ಮುಖ್ಯವಾಗಿ (111) ಆಧಾರಿತ |
| ಸಾಂದ್ರತೆ | 3.21 ಗ್ರಾಂ/ಸೆಂ³ |
| ಗಡಸುತನ | 2500 ವಿಕರ್ಸ್ ಗಡಸುತನ (500 ಗ್ರಾಂ ಲೋಡ್) |
| ಧಾನ್ಯದ ಗಾತ್ರ | 2~10μm |
| ರಾಸಾಯನಿಕ ಶುದ್ಧತೆ | 99.99995% |
| ಶಾಖ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ | 640 J·kg-1·ಕೆ-1 |
| ಉತ್ಪತನ ತಾಪಮಾನ | 2700℃ |
| ಫ್ಲೆಕ್ಸುರಲ್ ಸ್ಟ್ರೆಂತ್ | 415 MPa RT 4-ಪಾಯಿಂಟ್ |
| ಯಂಗ್ಸ್ ಮಾಡ್ಯುಲಸ್ | 430 Gpa 4pt ಬೆಂಡ್, 1300℃ |
| ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ | 300W·m-1·ಕೆ-1 |
| ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
