ಸೆಮಿಸೆರಾSiC ಕ್ಯಾಂಟಿಲಿವರ್ ವೇಫರ್ ಪ್ಯಾಡಲ್ಆಧುನಿಕ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ತಯಾರಿಕೆಯ ಬೇಡಿಕೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಲು ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ. ಈವೇಫರ್ ಪ್ಯಾಡಲ್ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಶಕ್ತಿ ಮತ್ತು ಉಷ್ಣ ನಿರೋಧಕತೆಯನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ, ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಬಿಲ್ಲೆಗಳನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸಲು ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ.
SiC ಕ್ಯಾಂಟಿಲಿವರ್ ವಿನ್ಯಾಸವು ನಿಖರವಾದ ವೇಫರ್ ನಿಯೋಜನೆಯನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ, ನಿರ್ವಹಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಹಾನಿಯ ಅಪಾಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ. ಇದರ ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆಯು ವೇಫರ್ ವಿಪರೀತ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳಲ್ಲಿಯೂ ಸ್ಥಿರವಾಗಿರುತ್ತದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಉತ್ಪಾದನಾ ದಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳಲು ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ.
ಅದರ ರಚನಾತ್ಮಕ ಅನುಕೂಲಗಳ ಜೊತೆಗೆ, ಸೆಮಿಸೆರಾ ನSiC ಕ್ಯಾಂಟಿಲಿವರ್ ವೇಫರ್ ಪ್ಯಾಡಲ್ತೂಕ ಮತ್ತು ಬಾಳಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ ಸಹ ಪ್ರಯೋಜನಗಳನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ. ಹಗುರವಾದ ನಿರ್ಮಾಣವು ಅಸ್ತಿತ್ವದಲ್ಲಿರುವ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸಲು ಮತ್ತು ಸಂಯೋಜಿಸಲು ಸುಲಭಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ, ಆದರೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆಯ SiC ವಸ್ತುವು ಬೇಡಿಕೆಯ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳಲ್ಲಿ ದೀರ್ಘಕಾಲ ಬಾಳಿಕೆಯನ್ನು ಖಾತ್ರಿಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ.
| ರಿಕ್ರಿಸ್ಟಲೈಸ್ಡ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್‌ನ ಭೌತಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು | |
| ಆಸ್ತಿ | ವಿಶಿಷ್ಟ ಮೌಲ್ಯ |
| ಕೆಲಸದ ತಾಪಮಾನ (°C) | 1600 ° C (ಆಮ್ಲಜನಕದೊಂದಿಗೆ), 1700 ° C (ಪರಿಸರವನ್ನು ಕಡಿಮೆಗೊಳಿಸುವುದು) |
| SiC ವಿಷಯ | > 99.96% |
| ಉಚಿತ Si ವಿಷಯ | < 0.1% |
| ಬೃಹತ್ ಸಾಂದ್ರತೆ | 2.60-2.70 ಗ್ರಾಂ / ಸೆಂ3 |
| ಸ್ಪಷ್ಟ ಸರಂಧ್ರತೆ | < 16% |
| ಸಂಕೋಚನ ಶಕ್ತಿ | > 600 MPa |
| ಶೀತ ಬಾಗುವ ಶಕ್ತಿ | 80-90 MPa (20°C) |
| ಬಿಸಿ ಬಾಗುವ ಶಕ್ತಿ | 90-100 MPa (1400°C) |
| ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ @1200°C | 23 W/m•K |
| ಸ್ಥಿತಿಸ್ಥಾಪಕ ಮಾಡ್ಯುಲಸ್ | 240 GPa |
| ಉಷ್ಣ ಆಘಾತ ಪ್ರತಿರೋಧ | ಅತ್ಯಂತ ಒಳ್ಳೆಯದು |
