ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನದೊಂದಿಗೆ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಸಸೆಪ್ಟರ್, ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾರಿಯರ್

CVD-SiC ಲೇಪನವು ಸ್ಥಿರವಾದ ಭೌತಿಕ ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳೊಂದಿಗೆ ಏಕರೂಪದ ರಚನೆ, ಕಾಂಪ್ಯಾಕ್ಟ್ ವಸ್ತು, ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಪ್ರತಿರೋಧ, ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ ಪ್ರತಿರೋಧ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆ, ಆಮ್ಲ ಮತ್ತು ಕ್ಷಾರ ಪ್ರತಿರೋಧ ಮತ್ತು ಸಾವಯವ ಕಾರಕದ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ.
ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ವಸ್ತುಗಳೊಂದಿಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ, ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ 400C ನಲ್ಲಿ ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣಗೊಳ್ಳಲು ಪ್ರಾರಂಭಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣದ ಕಾರಣದಿಂದಾಗಿ ಪುಡಿಯ ನಷ್ಟವನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡುತ್ತದೆ, ಇದು ಬಾಹ್ಯ ಸಾಧನಗಳು ಮತ್ತು ನಿರ್ವಾತ ಕೋಣೆಗಳಿಗೆ ಪರಿಸರ ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಪರಿಸರದ ಕಲ್ಮಶಗಳನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ.
ಆದಾಗ್ಯೂ, SiC ಲೇಪನವು 1600 ಡಿಗ್ರಿಗಳಲ್ಲಿ ಭೌತಿಕ ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳಬಹುದು, ಇದನ್ನು ಆಧುನಿಕ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.