ಸೆಮಿಸೆರಾಅದರ ಉತ್ತಮ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಪರಿಚಯಿಸುತ್ತದೆಸಿ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಸೇವೆಗಳು, ಇಂದಿನ ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದ ನಿಖರವಾದ ಮಾನದಂಡಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಲು ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ. ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಸಾಧನಗಳ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಮತ್ತು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆಗೆ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಲೇಯರ್ಗಳು ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿವೆ ಮತ್ತು ನಮ್ಮ Si Epitaxy ಪರಿಹಾರಗಳು ನಿಮ್ಮ ಘಟಕಗಳು ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಕಾರ್ಯವನ್ನು ಸಾಧಿಸುವುದನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತವೆ.
ನಿಖರವಾದ-ಬೆಳೆದ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಪದರಗಳು ಸೆಮಿಸೆರಾಹೆಚ್ಚಿನ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಸಾಧನಗಳ ಅಡಿಪಾಯವು ಬಳಸಿದ ವಸ್ತುಗಳ ಗುಣಮಟ್ಟದಲ್ಲಿದೆ ಎಂದು ಅರ್ಥಮಾಡಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ. ನಮ್ಮಸಿ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಅಸಾಧಾರಣ ಏಕರೂಪತೆ ಮತ್ತು ಸ್ಫಟಿಕ ಸಮಗ್ರತೆಯೊಂದಿಗೆ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಪದರಗಳನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸಲು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಸೂಕ್ಷ್ಮವಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಮೈಕ್ರೋಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ನಿಂದ ಸುಧಾರಿತ ವಿದ್ಯುತ್ ಸಾಧನಗಳವರೆಗಿನ ಅನ್ವಯಗಳಿಗೆ ಈ ಲೇಯರ್ಗಳು ಅತ್ಯಗತ್ಯ, ಅಲ್ಲಿ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆ ಅತಿಮುಖ್ಯವಾಗಿದೆ.
ಸಾಧನದ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಗಾಗಿ ಆಪ್ಟಿಮೈಸ್ ಮಾಡಲಾಗಿದೆದಿಸಿ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಸೆಮಿಸೆರಾ ನೀಡುವ ಸೇವೆಗಳು ನಿಮ್ಮ ಸಾಧನಗಳ ವಿದ್ಯುತ್ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸಲು ಅನುಗುಣವಾಗಿರುತ್ತವೆ. ಕಡಿಮೆ ದೋಷದ ಸಾಂದ್ರತೆಯೊಂದಿಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಲೇಯರ್ಗಳನ್ನು ಬೆಳೆಸುವ ಮೂಲಕ, ಸುಧಾರಿತ ವಾಹಕ ಚಲನಶೀಲತೆ ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆಯಾದ ವಿದ್ಯುತ್ ಪ್ರತಿರೋಧದೊಂದಿಗೆ ನಿಮ್ಮ ಘಟಕಗಳು ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತವೆ ಎಂದು ನಾವು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತೇವೆ. ಆಧುನಿಕ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದಿಂದ ಬೇಡಿಕೆಯಿರುವ ಹೆಚ್ಚಿನ-ವೇಗ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ-ದಕ್ಷತೆಯ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಸಾಧಿಸಲು ಈ ಆಪ್ಟಿಮೈಸೇಶನ್ ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ.
ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ಗಳಲ್ಲಿ ಬಹುಮುಖತೆ ಸೆಮಿಸೆರಾನಸಿ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿCMOS ಟ್ರಾನ್ಸಿಸ್ಟರ್ಗಳು, ಪವರ್ MOSFET ಗಳು ಮತ್ತು ಬೈಪೋಲಾರ್ ಜಂಕ್ಷನ್ ಟ್ರಾನ್ಸಿಸ್ಟರ್ಗಳ ಉತ್ಪಾದನೆ ಸೇರಿದಂತೆ ವ್ಯಾಪಕ ಶ್ರೇಣಿಯ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ. ನಮ್ಮ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ನಿಮ್ಮ ಪ್ರಾಜೆಕ್ಟ್ನ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳ ಆಧಾರದ ಮೇಲೆ ಗ್ರಾಹಕೀಕರಣವನ್ನು ಅನುಮತಿಸುತ್ತದೆ, ನಿಮಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಆವರ್ತನ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ಗಳಿಗಾಗಿ ತೆಳುವಾದ ಲೇಯರ್ಗಳು ಅಥವಾ ಪವರ್ ಸಾಧನಗಳಿಗೆ ದಪ್ಪವಾದ ಲೇಯರ್ಗಳ ಅಗತ್ಯವಿದೆ.
ಸುಪೀರಿಯರ್ ಮೆಟೀರಿಯಲ್ ಗುಣಮಟ್ಟಸೆಮಿಸೆರಾದಲ್ಲಿ ನಾವು ಮಾಡುವ ಎಲ್ಲದರ ಹೃದಯಭಾಗದಲ್ಲಿ ಗುಣಮಟ್ಟವಿದೆ. ನಮ್ಮಸಿ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಪ್ರತಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಪದರವು ಶುದ್ಧತೆ ಮತ್ತು ರಚನಾತ್ಮಕ ಸಮಗ್ರತೆಯ ಅತ್ಯುನ್ನತ ಮಾನದಂಡಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುತ್ತದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಅತ್ಯಾಧುನಿಕ ಉಪಕರಣಗಳು ಮತ್ತು ತಂತ್ರಗಳನ್ನು ಬಳಸುತ್ತದೆ. ವಿವರಗಳಿಗೆ ಈ ಗಮನವು ಸಾಧನದ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುವ ದೋಷಗಳ ಸಂಭವವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಇದು ಹೆಚ್ಚು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ ಮತ್ತು ದೀರ್ಘಕಾಲೀನ ಘಟಕಗಳಿಗೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ.
ನಾವೀನ್ಯತೆಗೆ ಬದ್ಧತೆ ಸೆಮಿಸೆರಾಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ಮುಂಚೂಣಿಯಲ್ಲಿ ಉಳಿಯಲು ಬದ್ಧವಾಗಿದೆ. ನಮ್ಮಸಿ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಸೇವೆಗಳು ಈ ಬದ್ಧತೆಯನ್ನು ಪ್ರತಿಬಿಂಬಿಸುತ್ತವೆ, ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ತಂತ್ರಗಳಲ್ಲಿನ ಇತ್ತೀಚಿನ ಪ್ರಗತಿಗಳನ್ನು ಸಂಯೋಜಿಸುತ್ತವೆ. ಉದ್ಯಮದ ಅಭಿವೃದ್ಧಿ ಹೊಂದುತ್ತಿರುವ ಅಗತ್ಯಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುವ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಲೇಯರ್ಗಳನ್ನು ತಲುಪಿಸಲು ನಾವು ನಮ್ಮ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳನ್ನು ನಿರಂತರವಾಗಿ ಪರಿಷ್ಕರಿಸುತ್ತೇವೆ, ನಿಮ್ಮ ಉತ್ಪನ್ನಗಳು ಮಾರುಕಟ್ಟೆಯಲ್ಲಿ ಸ್ಪರ್ಧಾತ್ಮಕವಾಗಿರುತ್ತವೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳುತ್ತೇವೆ.
ನಿಮ್ಮ ಅಗತ್ಯಗಳಿಗೆ ತಕ್ಕಂತೆ ಪರಿಹಾರಗಳುಪ್ರತಿಯೊಂದು ಯೋಜನೆಯು ಅನನ್ಯವಾಗಿದೆ ಎಂದು ಅರ್ಥಮಾಡಿಕೊಳ್ಳುವುದು,ಸೆಮಿಸೆರಾಕಸ್ಟಮೈಸ್ ಮಾಡಿದ ಕೊಡುಗೆಗಳುಸಿ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿನಿಮ್ಮ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಅಗತ್ಯಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿಸಲು ಪರಿಹಾರಗಳು. ನಿಮಗೆ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಡೋಪಿಂಗ್ ಪ್ರೊಫೈಲ್ಗಳು, ಲೇಯರ್ ದಪ್ಪಗಳು ಅಥವಾ ಮೇಲ್ಮೈ ಪೂರ್ಣಗೊಳಿಸುವಿಕೆಗಳ ಅಗತ್ಯವಿರಲಿ, ನಿಮ್ಮ ನಿಖರವಾದ ವಿಶೇಷಣಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುವ ಉತ್ಪನ್ನವನ್ನು ತಲುಪಿಸಲು ನಮ್ಮ ತಂಡವು ನಿಮ್ಮೊಂದಿಗೆ ನಿಕಟವಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ.
ವಸ್ತುಗಳು | ಉತ್ಪಾದನೆ | ಸಂಶೋಧನೆ | ನಕಲಿ |
ಕ್ರಿಸ್ಟಲ್ ನಿಯತಾಂಕಗಳು | |||
ಪಾಲಿಟೈಪ್ | 4H | ||
ಮೇಲ್ಮೈ ದೃಷ್ಟಿಕೋನ ದೋಷ | <11-20 >4±0.15° | ||
ವಿದ್ಯುತ್ ನಿಯತಾಂಕಗಳು | |||
ಡೋಪಾಂಟ್ | ಎನ್-ಟೈಪ್ ಸಾರಜನಕ | ||
ಪ್ರತಿರೋಧಕತೆ | 0.015-0.025ohm·cm | ||
ಯಾಂತ್ರಿಕ ನಿಯತಾಂಕಗಳು | |||
ವ್ಯಾಸ | 150.0 ± 0.2mm | ||
ದಪ್ಪ | 350 ± 25 μm | ||
ಪ್ರಾಥಮಿಕ ಫ್ಲಾಟ್ ಓರಿಯಂಟೇಶನ್ | [1-100]±5° | ||
ಪ್ರಾಥಮಿಕ ಫ್ಲಾಟ್ ಉದ್ದ | 47.5 ± 1.5mm | ||
ಸೆಕೆಂಡರಿ ಫ್ಲಾಟ್ | ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ | ||
ಟಿಟಿವಿ | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
ಬಿಲ್ಲು | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
ವಾರ್ಪ್ | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
ಮುಂಭಾಗ (Si-ಮುಖ) ಒರಟುತನ (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
ರಚನೆ | |||
ಮೈಕ್ರೊಪೈಪ್ ಸಾಂದ್ರತೆ | <1 EA/cm2 | <10 EA/cm2 | <15 ಇಎ/ಸೆಂ2 |
ಲೋಹದ ಕಲ್ಮಶಗಳು | ≤5E10 ಪರಮಾಣುಗಳು/ಸೆಂ2 | NA | |
BPD | ≤1500 EA/cm2 | ≤3000 EA/cm2 | NA |
TSD | ≤500 EA/cm2 | ≤1000 EA/cm2 | NA |
ಮುಂಭಾಗದ ಗುಣಮಟ್ಟ | |||
ಮುಂಭಾಗ | Si | ||
ಮೇಲ್ಮೈ ಮುಕ್ತಾಯ | ಸಿ-ಫೇಸ್ CMP | ||
ಕಣಗಳು | ≤60ea/ವೇಫರ್ (ಗಾತ್ರ≥0.3μm) | NA | |
ಗೀರುಗಳು | ≤5ea/mm. ಸಂಚಿತ ಉದ್ದ ≤ವ್ಯಾಸ | ಸಂಚಿತ ಉದ್ದ≤2*ವ್ಯಾಸ | NA |
ಕಿತ್ತಳೆ ಸಿಪ್ಪೆ / ಹೊಂಡ / ಕಲೆಗಳು / ಬಿರುಕುಗಳು / ಮಾಲಿನ್ಯ | ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ | NA | |
ಎಡ್ಜ್ ಚಿಪ್ಸ್/ಇಂಡೆಂಟ್ಗಳು/ಫ್ರಾಕ್ಚರ್/ಹೆಕ್ಸ್ ಪ್ಲೇಟ್ಗಳು | ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ | ||
ಪಾಲಿಟೈಪ್ ಪ್ರದೇಶಗಳು | ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ | ಸಂಚಿತ ಪ್ರದೇಶ≤20% | ಸಂಚಿತ ಪ್ರದೇಶ≤30% |
ಮುಂಭಾಗದ ಲೇಸರ್ ಗುರುತು | ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ | ||
ಹಿಂದಿನ ಗುಣಮಟ್ಟ | |||
ಬ್ಯಾಕ್ ಫಿನಿಶ್ | ಸಿ-ಫೇಸ್ CMP | ||
ಗೀರುಗಳು | ≤5ea/mm, ಸಂಚಿತ ಉದ್ದ≤2*ವ್ಯಾಸ | NA | |
ಹಿಂಭಾಗದ ದೋಷಗಳು (ಎಡ್ಜ್ ಚಿಪ್ಸ್/ಇಂಡೆಂಟ್ಗಳು) | ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ | ||
ಬೆನ್ನು ಒರಟುತನ | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
ಹಿಂದಿನ ಲೇಸರ್ ಗುರುತು | 1 ಮಿಮೀ (ಮೇಲಿನ ತುದಿಯಿಂದ) | ||
ಎಡ್ಜ್ | |||
ಎಡ್ಜ್ | ಚೇಂಫರ್ | ||
ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ | |||
ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ | ನಿರ್ವಾತ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ನೊಂದಿಗೆ ಎಪಿ-ಸಿದ್ಧ ಬಹು-ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾಸೆಟ್ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ | ||
*ಟಿಪ್ಪಣಿಗಳು: "NA" ಎಂದರೆ ಯಾವುದೇ ವಿನಂತಿಯನ್ನು ಉಲ್ಲೇಖಿಸದ ಐಟಂಗಳು SEMI-STD ಅನ್ನು ಉಲ್ಲೇಖಿಸಬಹುದು. |