ಸೆಮಿಸೆರಾಪರಿಚಯಿಸುತ್ತದೆಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಕ್ಯಾಸೆಟ್, ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಉದ್ದಕ್ಕೂ ವೇಫರ್‌ಗಳ ಸುರಕ್ಷಿತ ಮತ್ತು ಸಮರ್ಥ ನಿರ್ವಹಣೆಗೆ ಅಗತ್ಯವಾದ ಸಾಧನವಾಗಿದೆ. ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯೊಂದಿಗೆ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ, ಈ ಕ್ಯಾಸೆಟ್ ನಿಮ್ಮ ಬಿಲ್ಲೆಗಳನ್ನು ಸುರಕ್ಷಿತವಾಗಿ ಸಂಗ್ರಹಿಸಲಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಸಾಗಿಸಲಾಗಿದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ, ಪ್ರತಿ ಹಂತದಲ್ಲೂ ಅವುಗಳ ಸಮಗ್ರತೆಯನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ.
ಉನ್ನತ ರಕ್ಷಣೆ ಮತ್ತು ಬಾಳಿಕೆದಿಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಕ್ಯಾಸೆಟ್ಸೆಮಿಸೆರಾದಿಂದ ನಿಮ್ಮ ವೇಫರ್‌ಗಳಿಗೆ ಗರಿಷ್ಠ ರಕ್ಷಣೆ ನೀಡಲು ನಿರ್ಮಿಸಲಾಗಿದೆ. ದೃಢವಾದ, ಮಾಲಿನ್ಯ-ನಿರೋಧಕ ವಸ್ತುಗಳಿಂದ ನಿರ್ಮಿಸಲಾಗಿದೆ, ಇದು ನಿಮ್ಮ ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ಸಂಭಾವ್ಯ ಹಾನಿ ಮತ್ತು ಮಾಲಿನ್ಯದಿಂದ ರಕ್ಷಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಕ್ಲೀನ್‌ರೂಮ್ ಪರಿಸರಕ್ಕೆ ಸೂಕ್ತವಾದ ಆಯ್ಕೆಯಾಗಿದೆ. ಕ್ಯಾಸೆಟ್‌ನ ವಿನ್ಯಾಸವು ಕಣಗಳ ಉತ್ಪಾದನೆಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಣೆ ಮತ್ತು ಸಾಗಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಬಿಲ್ಲೆಗಳು ಅಸ್ಪೃಶ್ಯ ಮತ್ತು ಸುರಕ್ಷಿತವಾಗಿರುತ್ತವೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಗಾಗಿ ವರ್ಧಿತ ವಿನ್ಯಾಸಸೆಮಿಸೆರಾ ನಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಕ್ಯಾಸೆಟ್ನಿಖರವಾದ ವೇಫರ್ ಜೋಡಣೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸುವ ನಿಖರವಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಿದ ವಿನ್ಯಾಸವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ತಪ್ಪು ಜೋಡಣೆ ಮತ್ತು ಯಾಂತ್ರಿಕ ಹಾನಿಯ ಅಪಾಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ. ಪ್ರತಿ ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ಸುರಕ್ಷಿತವಾಗಿ ಹಿಡಿದಿಡಲು ಕ್ಯಾಸೆಟ್‌ನ ಸ್ಲಾಟ್‌ಗಳು ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ಅಂತರದಲ್ಲಿರುತ್ತವೆ, ಗೀರುಗಳು ಅಥವಾ ಇತರ ಅಪೂರ್ಣತೆಗಳಿಗೆ ಕಾರಣವಾಗುವ ಯಾವುದೇ ಚಲನೆಯನ್ನು ತಡೆಯುತ್ತದೆ.
ಬಹುಮುಖತೆ ಮತ್ತು ಹೊಂದಾಣಿಕೆದಿಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಕ್ಯಾಸೆಟ್ಇದು ಬಹುಮುಖ ಮತ್ತು ವಿವಿಧ ವೇಫರ್ ಗಾತ್ರಗಳೊಂದಿಗೆ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ, ಇದು ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಿಕೆಯ ವಿವಿಧ ಹಂತಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ. ನೀವು ಪ್ರಮಾಣಿತ ಅಥವಾ ಕಸ್ಟಮ್ ವೇಫರ್ ಆಯಾಮಗಳೊಂದಿಗೆ ಕೆಲಸ ಮಾಡುತ್ತಿದ್ದರೆ, ಈ ಕ್ಯಾಸೆಟ್ ನಿಮ್ಮ ಅಗತ್ಯಗಳಿಗೆ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ, ನಿಮ್ಮ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ನಮ್ಯತೆಯನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ.
ಸುವ್ಯವಸ್ಥಿತ ನಿರ್ವಹಣೆ ಮತ್ತು ದಕ್ಷತೆಬಳಕೆದಾರರನ್ನು ಗಮನದಲ್ಲಿಟ್ಟುಕೊಂಡು ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ, ದಿಸೆಮಿಸೆರಾ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಕ್ಯಾಸೆಟ್ಹಗುರವಾದ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಿಸಲು ಸುಲಭವಾಗಿದೆ, ತ್ವರಿತ ಮತ್ತು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ಲೋಡಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಇಳಿಸುವಿಕೆಯನ್ನು ಅನುಮತಿಸುತ್ತದೆ. ಈ ದಕ್ಷತಾಶಾಸ್ತ್ರದ ವಿನ್ಯಾಸವು ಸಮಯವನ್ನು ಉಳಿಸುವುದಲ್ಲದೆ ಮಾನವ ದೋಷದ ಅಪಾಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ನಿಮ್ಮ ಸೌಲಭ್ಯದೊಳಗೆ ಸುಗಮ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಗಳನ್ನು ಖಾತ್ರಿಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ.
ಉದ್ಯಮ ಮಾನದಂಡಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುವುದುಸೆಮಿಸೆರಾ ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಕ್ಯಾಸೆಟ್ಗುಣಮಟ್ಟ ಮತ್ತು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆಗಾಗಿ ಅತ್ಯುನ್ನತ ಉದ್ಯಮದ ಮಾನದಂಡಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುತ್ತದೆ. ಪ್ರತಿ ಕ್ಯಾಸೆಟ್ ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಿಕೆಯ ಬೇಡಿಕೆಯ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳಲ್ಲಿ ಸ್ಥಿರವಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ ಎಂದು ಖಾತರಿಪಡಿಸಲು ಕಠಿಣ ಪರೀಕ್ಷೆಗೆ ಒಳಗಾಗುತ್ತದೆ. ಗುಣಮಟ್ಟಕ್ಕೆ ಈ ಸಮರ್ಪಣೆಯು ನಿಮ್ಮ ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ಯಾವಾಗಲೂ ರಕ್ಷಿಸುತ್ತದೆ, ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಉನ್ನತ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ.
| ವಸ್ತುಗಳು | ಉತ್ಪಾದನೆ | ಸಂಶೋಧನೆ | ನಕಲಿ |
| ಕ್ರಿಸ್ಟಲ್ ನಿಯತಾಂಕಗಳು | |||
| ಪಾಲಿಟೈಪ್ | 4H | ||
| ಮೇಲ್ಮೈ ದೃಷ್ಟಿಕೋನ ದೋಷ | <11-20 >4±0.15° | ||
| ವಿದ್ಯುತ್ ನಿಯತಾಂಕಗಳು | |||
| ಡೋಪಾಂಟ್ | ಎನ್-ಟೈಪ್ ಸಾರಜನಕ | ||
| ಪ್ರತಿರೋಧಕತೆ | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| ಯಾಂತ್ರಿಕ ನಿಯತಾಂಕಗಳು | |||
| ವ್ಯಾಸ | 150.0 ± 0.2mm | ||
| ದಪ್ಪ | 350 ± 25 μm | ||
| ಪ್ರಾಥಮಿಕ ಫ್ಲಾಟ್ ಓರಿಯಂಟೇಶನ್ | [1-100]±5° | ||
| ಪ್ರಾಥಮಿಕ ಫ್ಲಾಟ್ ಉದ್ದ | 47.5 ± 1.5mm | ||
| ಸೆಕೆಂಡರಿ ಫ್ಲಾಟ್ | ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ | ||
| ಟಿಟಿವಿ | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| ಬಿಲ್ಲು | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| ವಾರ್ಪ್ | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| ಮುಂಭಾಗ(Si-ಫೇಸ್) ಒರಟುತನ(AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| ರಚನೆ | |||
| ಮೈಕ್ರೊಪೈಪ್ ಸಾಂದ್ರತೆ | <1 EA/cm2 | <10 EA/cm2 | <15 ಇಎ/ಸೆಂ2 |
| ಲೋಹದ ಕಲ್ಮಶಗಳು | ≤5E10 ಪರಮಾಣುಗಳು/ಸೆಂ2 | NA | |
| BPD | ≤1500 EA/cm2 | ≤3000 EA/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 EA/cm2 | ≤1000 EA/cm2 | NA |
| ಮುಂಭಾಗದ ಗುಣಮಟ್ಟ | |||
| ಮುಂಭಾಗ | Si | ||
| ಮೇಲ್ಮೈ ಮುಕ್ತಾಯ | ಸಿ-ಫೇಸ್ CMP | ||
| ಕಣಗಳು | ≤60ea/ವೇಫರ್ (ಗಾತ್ರ≥0.3μm) | NA | |
| ಗೀರುಗಳು | ≤5ea/mm. ಸಂಚಿತ ಉದ್ದ ≤ವ್ಯಾಸ | ಸಂಚಿತ ಉದ್ದ≤2*ವ್ಯಾಸ | NA |
| ಕಿತ್ತಳೆ ಸಿಪ್ಪೆ / ಹೊಂಡ / ಕಲೆಗಳು / ಬಿರುಕುಗಳು / ಮಾಲಿನ್ಯ | ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ | NA | |
| ಎಡ್ಜ್ ಚಿಪ್ಸ್/ಇಂಡೆಂಟ್‌ಗಳು/ಫ್ರಾಕ್ಚರ್/ಹೆಕ್ಸ್ ಪ್ಲೇಟ್‌ಗಳು | ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ | ||
| ಪಾಲಿಟೈಪ್ ಪ್ರದೇಶಗಳು | ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ | ಸಂಚಿತ ಪ್ರದೇಶ≤20% | ಸಂಚಿತ ಪ್ರದೇಶ≤30% |
| ಮುಂಭಾಗದ ಲೇಸರ್ ಗುರುತು | ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ | ||
| ಹಿಂದಿನ ಗುಣಮಟ್ಟ | |||
| ಬ್ಯಾಕ್ ಫಿನಿಶ್ | ಸಿ-ಫೇಸ್ CMP | ||
| ಗೀರುಗಳು | ≤5ea/mm, ಸಂಚಿತ ಉದ್ದ≤2*ವ್ಯಾಸ | NA | |
| ಹಿಂಭಾಗದ ದೋಷಗಳು (ಎಡ್ಜ್ ಚಿಪ್ಸ್/ಇಂಡೆಂಟ್‌ಗಳು) | ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ | ||
| ಬೆನ್ನು ಒರಟುತನ | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| ಹಿಂದಿನ ಲೇಸರ್ ಗುರುತು | 1 ಮಿಮೀ (ಮೇಲಿನ ತುದಿಯಿಂದ) | ||
| ಎಡ್ಜ್ | |||
| ಎಡ್ಜ್ | ಚೇಂಫರ್ | ||
| ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ | |||
| ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ | ನಿರ್ವಾತ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್‌ನೊಂದಿಗೆ ಎಪಿ-ಸಿದ್ಧ ಬಹು-ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾಸೆಟ್ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ | ||
| *ಟಿಪ್ಪಣಿಗಳು: "NA" ಎಂದರೆ ಯಾವುದೇ ವಿನಂತಿಯನ್ನು ಉಲ್ಲೇಖಿಸದ ಐಟಂಗಳು SEMI-STD ಅನ್ನು ಉಲ್ಲೇಖಿಸಬಹುದು. | |||
