RTPCVD SiC ಉಂಗುರಗಳುಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ನಾಶಕಾರಿ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಕೈಗಾರಿಕಾ ಮತ್ತು ವೈಜ್ಞಾನಿಕ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉತ್ಪಾದನೆ, ಆಪ್ಟೊಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್, ನಿಖರವಾದ ಯಂತ್ರೋಪಕರಣಗಳು ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ಇದು ಪ್ರಮುಖ ಪಾತ್ರ ವಹಿಸುತ್ತದೆ. ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್‌ಗಳು ಸೇರಿವೆ:
1. ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ತಯಾರಿಕೆ:RTP CVD SiC ಉಂಗುರಗಳುಅರೆವಾಹಕ ಉಪಕರಣಗಳ ತಾಪನ ಮತ್ತು ತಂಪಾಗಿಸಲು ಬಳಸಬಹುದು, ಸ್ಥಿರವಾದ ತಾಪಮಾನ ನಿಯಂತ್ರಣವನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಖಾತ್ರಿಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
2. ಆಪ್ಟೊಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್: ಅದರ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಪ್ರತಿರೋಧದಿಂದಾಗಿ, RTPCVD SiC ಉಂಗುರಗಳುಲೇಸರ್‌ಗಳು, ಫೈಬರ್ ಆಪ್ಟಿಕ್ ಸಂವಹನ ಉಪಕರಣಗಳು ಮತ್ತು ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಘಟಕಗಳಿಗೆ ಬೆಂಬಲ ಮತ್ತು ಶಾಖದ ಹರಡುವಿಕೆಯ ವಸ್ತುವಾಗಿ ಬಳಸಬಹುದು.
3. ನಿಖರವಾದ ಯಂತ್ರೋಪಕರಣಗಳು: RTP CVD SiC ಉಂಗುರಗಳನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಕುಲುಮೆಗಳು, ನಿರ್ವಾತ ಸಾಧನಗಳು ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕ ರಿಯಾಕ್ಟರ್‌ಗಳಂತಹ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ನಾಶಕಾರಿ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ನಿಖರವಾದ ಉಪಕರಣಗಳು ಮತ್ತು ಉಪಕರಣಗಳಿಗೆ ಬಳಸಬಹುದು.
4. ರಾಸಾಯನಿಕ ಉದ್ಯಮ: ಅದರ ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆ ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕ ಸ್ಥಿರತೆಯಿಂದಾಗಿ, RTP CVD SiC ಉಂಗುರಗಳನ್ನು ರಾಸಾಯನಿಕ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಗಳು ಮತ್ತು ವೇಗವರ್ಧಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಕಂಟೈನರ್‌ಗಳು, ಪೈಪ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ರಿಯಾಕ್ಟರ್‌ಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಬಹುದು.
ಎಪಿ ಸಿಸ್ಟಮ್
RTP ವ್ಯವಸ್ಥೆ
CVD ವ್ಯವಸ್ಥೆ
ಉತ್ಪನ್ನ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ:
1. 28nm ಕೆಳಗಿನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಭೇಟಿ ಮಾಡಿ
2. ಸೂಪರ್ ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆ
3. ಸೂಪರ್ ಕ್ಲೀನ್ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ
4. ಸೂಪರ್ ಗಡಸುತನ
5. ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆ
6. ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಪ್ರತಿರೋಧ
7. ಪ್ರತಿರೋಧವನ್ನು ಧರಿಸಿ
ಉತ್ಪನ್ನ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್:
ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ವಸ್ತುಗಳು ಹೆಚ್ಚಿನ ಗಡಸುತನ, ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧ, ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಸ್ಥಿರತೆಯ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿವೆ. ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾದ ಸಮಗ್ರ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಉತ್ಪನ್ನಗಳನ್ನು ಒಣ ಎಚ್ಚಣೆ ಮತ್ತು TF/ಡಿಫ್ಯೂಷನ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಉತ್ಪನ್ನ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ:
1. 28nm ಕೆಳಗಿನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಭೇಟಿ ಮಾಡಿ
2. ಸೂಪರ್ ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆ
3. ಸೂಪರ್ ಕ್ಲೀನ್ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ
4. ಸೂಪರ್ ಗಡಸುತನ
5. ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆ
6. ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಪ್ರತಿರೋಧ
7. ಪ್ರತಿರೋಧವನ್ನು ಧರಿಸಿ
ಸಂಯೋಜಿತ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಅಭಿವೃದ್ಧಿ:
• ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ +SiC ಲೇಪನ
• ಘನ CVD SiC
• ಸಿಂಟರ್ಡ್ SiC+CVD
• SicSintered SiC
ಬಹು ಉತ್ಪನ್ನ ಪ್ರಕಾರದ ಅಭಿವೃದ್ಧಿ:
• ರಿಂಗ್
• ಟೇಬಲ್
• ಸಸೆಪ್ಟರ್
• ಶವರ್ ಹೆಡ್
