CVD ಬಲ್ಕ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (SiC)
ಅವಲೋಕನ:CVDಬೃಹತ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (SiC)ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಎಚ್ಚಣೆ ಉಪಕರಣಗಳು, ಕ್ಷಿಪ್ರ ಥರ್ಮಲ್ ಪ್ರೊಸೆಸಿಂಗ್ (RTP) ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಇತರ ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚು ಬೇಡಿಕೆಯಿರುವ ವಸ್ತುವಾಗಿದೆ. ಅದರ ಅಸಾಧಾರಣವಾದ ಯಾಂತ್ರಿಕ, ರಾಸಾಯನಿಕ ಮತ್ತು ಉಷ್ಣ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ಬಾಳಿಕೆಗೆ ಬೇಡಿಕೆಯಿರುವ ಸುಧಾರಿತ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ಅನ್ವಯಗಳಿಗೆ ಆದರ್ಶ ವಸ್ತುವಾಗಿದೆ.
CVD ಬಲ್ಕ್ SiC ಯ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್‌ಗಳು:ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಎಚ್ಚಣೆ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಲ್ಲಿ ಬಲ್ಕ್ SiC ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ, ಅಲ್ಲಿ ಫೋಕಸ್ ರಿಂಗ್‌ಗಳು, ಗ್ಯಾಸ್ ಶವರ್‌ಹೆಡ್‌ಗಳು, ಎಡ್ಜ್ ರಿಂಗ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಪ್ಲಾಟೆನ್ಸ್‌ಗಳಂತಹ ಘಟಕಗಳು SiC ಯ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆ ಮತ್ತು ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆಯಿಂದ ಪ್ರಯೋಜನ ಪಡೆಯುತ್ತವೆ. ಇದರ ಬಳಕೆಯು ವಿಸ್ತರಿಸುತ್ತದೆRTPಗಮನಾರ್ಹವಾದ ಅವನತಿ ಇಲ್ಲದೆ ಕ್ಷಿಪ್ರ ತಾಪಮಾನ ಏರಿಳಿತಗಳನ್ನು ತಡೆದುಕೊಳ್ಳುವ SiC ಯ ಸಾಮರ್ಥ್ಯದಿಂದಾಗಿ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು.
ಎಚ್ಚಣೆ ಉಪಕರಣಗಳ ಜೊತೆಗೆ, CVDಬೃಹತ್ SiCಪ್ರಸರಣ ಕುಲುಮೆಗಳು ಮತ್ತು ಸ್ಫಟಿಕ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಒಲವು ಹೊಂದಿದೆ, ಅಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ಕಠಿಣ ರಾಸಾಯನಿಕ ಪರಿಸರಗಳಿಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧದ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ. ಈ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ಕ್ಲೋರಿನ್ ಮತ್ತು ಫ್ಲೋರಿನ್ ಹೊಂದಿರುವಂತಹ ನಾಶಕಾರಿ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುವ ಹೆಚ್ಚಿನ ಬೇಡಿಕೆಯ ಅನ್ವಯಗಳಿಗೆ SiC ಅನ್ನು ಆಯ್ಕೆಯ ವಸ್ತುವನ್ನಾಗಿ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
CVD ಬಲ್ಕ್ SiC ಘಟಕಗಳ ಪ್ರಯೋಜನಗಳು:
•ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆ:3.2 g/cm³ ಸಾಂದ್ರತೆಯೊಂದಿಗೆ,CVD ಬೃಹತ್ SiCಘಟಕಗಳು ಉಡುಗೆ ಮತ್ತು ಯಾಂತ್ರಿಕ ಪ್ರಭಾವಕ್ಕೆ ಹೆಚ್ಚು ನಿರೋಧಕವಾಗಿರುತ್ತವೆ.
•ಉನ್ನತ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ:300 W/m·Kನ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆಯನ್ನು ನೀಡುವುದರಿಂದ, ಬೃಹತ್ SiC ಶಾಖವನ್ನು ಸಮರ್ಥವಾಗಿ ನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ತೀವ್ರವಾದ ಉಷ್ಣ ಚಕ್ರಗಳಿಗೆ ಒಡ್ಡಿಕೊಳ್ಳುವ ಘಟಕಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.
•ಅಸಾಧಾರಣ ರಾಸಾಯನಿಕ ಪ್ರತಿರೋಧ:ಕ್ಲೋರಿನ್ ಮತ್ತು ಫ್ಲೋರಿನ್-ಆಧಾರಿತ ರಾಸಾಯನಿಕಗಳು ಸೇರಿದಂತೆ ಎಚ್ಚಣೆ ಅನಿಲಗಳೊಂದಿಗೆ SiC ಯ ಕಡಿಮೆ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕತೆಯು ದೀರ್ಘವಾದ ಘಟಕ ಜೀವನವನ್ನು ಖಾತ್ರಿಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ.
•ಹೊಂದಾಣಿಕೆ ನಿರೋಧಕತೆ: CVD ಬೃಹತ್ SiC ಗಳುಪ್ರತಿರೋಧಕತೆಯನ್ನು 10⁻²–10⁴ Ω-cm ವ್ಯಾಪ್ತಿಯಲ್ಲಿ ಕಸ್ಟಮೈಸ್ ಮಾಡಬಹುದು, ಇದು ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಎಚ್ಚಣೆ ಮತ್ತು ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಿಕೆಯ ಅಗತ್ಯಗಳಿಗೆ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುವಂತೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
•ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ ಗುಣಾಂಕ:4.8 x 10⁻⁶/°C (25–1000°C) ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಗುಣಾಂಕದೊಂದಿಗೆ, CVD ಬಲ್ಕ್ SiC ಉಷ್ಣ ಆಘಾತವನ್ನು ಪ್ರತಿರೋಧಿಸುತ್ತದೆ, ಕ್ಷಿಪ್ರ ತಾಪನ ಮತ್ತು ತಂಪಾಗಿಸುವ ಚಕ್ರಗಳಲ್ಲಿಯೂ ಸಹ ಆಯಾಮದ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ.
•ಪ್ಲಾಸ್ಮಾದಲ್ಲಿ ಬಾಳಿಕೆ:ಅರೆವಾಹಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಮತ್ತು ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಅನಿಲಗಳಿಗೆ ಒಡ್ಡಿಕೊಳ್ಳುವುದು ಅನಿವಾರ್ಯ, ಆದರೆCVD ಬೃಹತ್ SiCತುಕ್ಕು ಮತ್ತು ಅವನತಿಗೆ ಉತ್ತಮ ಪ್ರತಿರೋಧವನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ, ಬದಲಿ ಆವರ್ತನ ಮತ್ತು ಒಟ್ಟಾರೆ ನಿರ್ವಹಣೆ ವೆಚ್ಚವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
ತಾಂತ್ರಿಕ ವಿಶೇಷಣಗಳು:
•ವ್ಯಾಸ:305 ಮಿಮೀಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚು
•ಪ್ರತಿರೋಧಕತೆ:10⁻²–10⁴ Ω-ಸೆಂ ಒಳಗೆ ಹೊಂದಿಸಬಹುದಾಗಿದೆ
•ಸಾಂದ್ರತೆ:3.2 g/cm³
•ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ:300 W/m·K
•ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ ಗುಣಾಂಕ:4.8 x 10⁻⁶/°C (25–1000°C)
ಗ್ರಾಹಕೀಕರಣ ಮತ್ತು ನಮ್ಯತೆ:ನಲ್ಲಿಸೆಮಿಸೆರಾ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್, ಪ್ರತಿ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್‌ಗೆ ವಿಭಿನ್ನ ವಿಶೇಷಣಗಳು ಬೇಕಾಗಬಹುದು ಎಂದು ನಾವು ಅರ್ಥಮಾಡಿಕೊಂಡಿದ್ದೇವೆ. ಅದಕ್ಕಾಗಿಯೇ ನಮ್ಮ CVD ಬಲ್ಕ್ SiC ಕಾಂಪೊನೆಂಟ್‌ಗಳು ನಿಮ್ಮ ಸಲಕರಣೆಗಳ ಅಗತ್ಯಗಳಿಗೆ ಸರಿಹೊಂದುವಂತೆ ಸರಿಹೊಂದಿಸಬಹುದಾದ ಪ್ರತಿರೋಧಕತೆ ಮತ್ತು ಸೂಕ್ತವಾದ ಆಯಾಮಗಳೊಂದಿಗೆ ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ಗ್ರಾಹಕೀಯಗೊಳಿಸಬಹುದಾಗಿದೆ. ನಿಮ್ಮ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಎಚ್ಚಣೆ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳನ್ನು ನೀವು ಉತ್ತಮಗೊಳಿಸುತ್ತಿರಲಿ ಅಥವಾ RTP ಅಥವಾ ಪ್ರಸರಣ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಬಾಳಿಕೆ ಬರುವ ಘಟಕಗಳನ್ನು ಹುಡುಕುತ್ತಿರಲಿ, ನಮ್ಮ CVD ಬಲ್ಕ್ SiC ಸಾಟಿಯಿಲ್ಲದ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ.
