ಸೆಮಿಸೆರಾನೀಡಲು ಸಂತೋಷವಾಗಿದೆPFA ಕ್ಯಾಸೆಟ್, ರಾಸಾಯನಿಕ ಪ್ರತಿರೋಧ ಮತ್ತು ಬಾಳಿಕೆ ಅತಿಮುಖ್ಯವಾಗಿರುವ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ವೇಫರ್ ನಿರ್ವಹಣೆಗೆ ಪ್ರೀಮಿಯಂ ಆಯ್ಕೆಯಾಗಿದೆ. ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ Perfluoroalkoxy (PFA) ವಸ್ತುವಿನಿಂದ ರಚಿಸಲಾದ ಈ ಕ್ಯಾಸೆಟ್ ಅನ್ನು ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚು ಬೇಡಿಕೆಯಿರುವ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳನ್ನು ತಡೆದುಕೊಳ್ಳಲು ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ, ನಿಮ್ಮ ವೇಫರ್ಗಳ ಸುರಕ್ಷತೆ ಮತ್ತು ಸಮಗ್ರತೆಯನ್ನು ಖಾತ್ರಿಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
ಸಾಟಿಯಿಲ್ಲದ ರಾಸಾಯನಿಕ ಪ್ರತಿರೋಧದಿPFA ಕ್ಯಾಸೆಟ್ವ್ಯಾಪಕ ಶ್ರೇಣಿಯ ರಾಸಾಯನಿಕಗಳಿಗೆ ಉತ್ತಮ ಪ್ರತಿರೋಧವನ್ನು ಒದಗಿಸಲು ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ, ಆಕ್ರಮಣಕಾರಿ ಆಮ್ಲಗಳು, ದ್ರಾವಕಗಳು ಮತ್ತು ಇತರ ಕಠಿಣ ರಾಸಾಯನಿಕಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಿಗೆ ಇದು ಪರಿಪೂರ್ಣ ಆಯ್ಕೆಯಾಗಿದೆ. ಈ ದೃಢವಾದ ರಾಸಾಯನಿಕ ಪ್ರತಿರೋಧವು ಅತ್ಯಂತ ನಾಶಕಾರಿ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿಯೂ ಸಹ ಕ್ಯಾಸೆಟ್ ಅಖಂಡವಾಗಿ ಮತ್ತು ಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕವಾಗಿ ಉಳಿಯುತ್ತದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಅದರ ಜೀವಿತಾವಧಿಯನ್ನು ವಿಸ್ತರಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಆಗಾಗ್ಗೆ ಬದಲಿಗಳ ಅಗತ್ಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ನಿರ್ಮಾಣಸೆಮಿಸೆರಾ ನPFA ಕ್ಯಾಸೆಟ್ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಪ್ಯೂರ್ PFA ವಸ್ತುವಿನಿಂದ ತಯಾರಿಸಲ್ಪಟ್ಟಿದೆ, ಇದು ವೇಫರ್ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ತಡೆಗಟ್ಟುವಲ್ಲಿ ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ. ಈ ಉನ್ನತ-ಶುದ್ಧತೆಯ ನಿರ್ಮಾಣವು ಕಣಗಳ ಉತ್ಪಾದನೆ ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕ ಸೋರಿಕೆಯ ಅಪಾಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ನಿಮ್ಮ ಬಿಲ್ಲೆಗಳು ಅವುಗಳ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ರಾಜಿ ಮಾಡಿಕೊಳ್ಳುವ ಕಲ್ಮಶಗಳಿಂದ ರಕ್ಷಿಸಲಾಗಿದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
ವರ್ಧಿತ ಬಾಳಿಕೆ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಬಾಳಿಕೆಗಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ, ದಿPFA ಕ್ಯಾಸೆಟ್ತೀವ್ರತರವಾದ ತಾಪಮಾನಗಳು ಮತ್ತು ಕಠಿಣ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳಲ್ಲಿ ಅದರ ರಚನಾತ್ಮಕ ಸಮಗ್ರತೆಯನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ. ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನಕ್ಕೆ ಒಡ್ಡಿಕೊಂಡಿರಲಿ ಅಥವಾ ಪುನರಾವರ್ತಿತ ನಿರ್ವಹಣೆಗೆ ಒಳಪಟ್ಟಿರಲಿ, ಈ ಕ್ಯಾಸೆಟ್ ತನ್ನ ಆಕಾರ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಉಳಿಸಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ, ಬೇಡಿಕೆಯ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ದೀರ್ಘಾವಧಿಯ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆಯನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ.
ಸುರಕ್ಷಿತ ನಿರ್ವಹಣೆಗಾಗಿ ನಿಖರ ಎಂಜಿನಿಯರಿಂಗ್ದಿಸೆಮಿಸೆರಾ PFA ಕ್ಯಾಸೆಟ್ಸುರಕ್ಷಿತ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರವಾದ ವೇಫರ್ ನಿರ್ವಹಣೆಯನ್ನು ಖಾತ್ರಿಪಡಿಸುವ ನಿಖರವಾದ ಎಂಜಿನಿಯರಿಂಗ್ ಅನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿದೆ. ಪ್ರತಿಯೊಂದು ಸ್ಲಾಟ್ ಅನ್ನು ಎಚ್ಚರಿಕೆಯಿಂದ ಸ್ಥಳದಲ್ಲಿ ವೇಫರ್ಗಳನ್ನು ಹಿಡಿದಿಟ್ಟುಕೊಳ್ಳಲು ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ, ಯಾವುದೇ ಚಲನೆಯನ್ನು ತಡೆಯುತ್ತದೆ ಅಥವಾ ಹಾನಿಗೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು. ಈ ನಿಖರವಾದ ಎಂಜಿನಿಯರಿಂಗ್ ಸ್ಥಿರವಾದ ಮತ್ತು ನಿಖರವಾದ ವೇಫರ್ ನಿಯೋಜನೆಯನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ, ಒಟ್ಟಾರೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ದಕ್ಷತೆಗೆ ಕೊಡುಗೆ ನೀಡುತ್ತದೆ.
ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಾದ್ಯಂತ ಬಹುಮುಖ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ಅದರ ಉನ್ನತ ವಸ್ತು ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳಿಗೆ ಧನ್ಯವಾದಗಳು, ದಿPFA ಕ್ಯಾಸೆಟ್ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ತಯಾರಿಕೆಯ ವಿವಿಧ ಹಂತಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲು ಸಾಕಷ್ಟು ಬಹುಮುಖವಾಗಿದೆ. ಆರ್ದ್ರ ಎಚ್ಚಣೆ, ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ (CVD) ಮತ್ತು ಕಠಿಣ ರಾಸಾಯನಿಕ ಪರಿಸರವನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುವ ಇತರ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಿಗೆ ಇದು ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಸೂಕ್ತವಾಗಿರುತ್ತದೆ. ಅದರ ಹೊಂದಾಣಿಕೆಯು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸಮಗ್ರತೆ ಮತ್ತು ವೇಫರ್ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳುವಲ್ಲಿ ಇದು ಅತ್ಯಗತ್ಯ ಸಾಧನವಾಗಿದೆ.
ಗುಣಮಟ್ಟ ಮತ್ತು ನಾವೀನ್ಯತೆಗೆ ಬದ್ಧತೆಸೆಮಿಸೆರಾದಲ್ಲಿ, ಅತ್ಯುನ್ನತ ಉದ್ಯಮ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಪೂರೈಸುವ ಉತ್ಪನ್ನಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸಲು ನಾವು ಬದ್ಧರಾಗಿದ್ದೇವೆ. ದಿPFA ಕ್ಯಾಸೆಟ್ಈ ಬದ್ಧತೆಯನ್ನು ಉದಾಹರಿಸುತ್ತದೆ, ನಿಮ್ಮ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಿಗೆ ಮನಬಂದಂತೆ ಸಂಯೋಜಿಸುವ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ ಪರಿಹಾರವನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ. ಪ್ರತಿಯೊಂದು ಕ್ಯಾಸೆಟ್ ನಮ್ಮ ಕಠಿಣ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಮಾನದಂಡಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುತ್ತದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾದ ಗುಣಮಟ್ಟದ ನಿಯಂತ್ರಣಕ್ಕೆ ಒಳಗಾಗುತ್ತದೆ, ಸೆಮಿಸೆರಾದಿಂದ ನೀವು ನಿರೀಕ್ಷಿಸುವ ಶ್ರೇಷ್ಠತೆಯನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ.
ವಸ್ತುಗಳು | ಉತ್ಪಾದನೆ | ಸಂಶೋಧನೆ | ನಕಲಿ |
ಕ್ರಿಸ್ಟಲ್ ನಿಯತಾಂಕಗಳು | |||
ಪಾಲಿಟೈಪ್ | 4H | ||
ಮೇಲ್ಮೈ ದೃಷ್ಟಿಕೋನ ದೋಷ | <11-20 >4±0.15° | ||
ವಿದ್ಯುತ್ ನಿಯತಾಂಕಗಳು | |||
ಡೋಪಾಂಟ್ | ಎನ್-ಟೈಪ್ ಸಾರಜನಕ | ||
ಪ್ರತಿರೋಧಕತೆ | 0.015-0.025ohm·cm | ||
ಯಾಂತ್ರಿಕ ನಿಯತಾಂಕಗಳು | |||
ವ್ಯಾಸ | 150.0 ± 0.2mm | ||
ದಪ್ಪ | 350 ± 25 μm | ||
ಪ್ರಾಥಮಿಕ ಫ್ಲಾಟ್ ಓರಿಯಂಟೇಶನ್ | [1-100]±5° | ||
ಪ್ರಾಥಮಿಕ ಫ್ಲಾಟ್ ಉದ್ದ | 47.5 ± 1.5mm | ||
ಸೆಕೆಂಡರಿ ಫ್ಲಾಟ್ | ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ | ||
ಟಿಟಿವಿ | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
ಬಿಲ್ಲು | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
ವಾರ್ಪ್ | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
ಮುಂಭಾಗ (Si-ಮುಖ) ಒರಟುತನ (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
ರಚನೆ | |||
ಮೈಕ್ರೊಪೈಪ್ ಸಾಂದ್ರತೆ | <1 EA/cm2 | <10 EA/cm2 | <15 ಇಎ/ಸೆಂ2 |
ಲೋಹದ ಕಲ್ಮಶಗಳು | ≤5E10 ಪರಮಾಣುಗಳು/ಸೆಂ2 | NA | |
BPD | ≤1500 EA/cm2 | ≤3000 EA/cm2 | NA |
TSD | ≤500 EA/cm2 | ≤1000 EA/cm2 | NA |
ಮುಂಭಾಗದ ಗುಣಮಟ್ಟ | |||
ಮುಂಭಾಗ | Si | ||
ಮೇಲ್ಮೈ ಮುಕ್ತಾಯ | ಸಿ-ಫೇಸ್ CMP | ||
ಕಣಗಳು | ≤60ea/ವೇಫರ್ (ಗಾತ್ರ≥0.3μm) | NA | |
ಗೀರುಗಳು | ≤5ea/mm. ಸಂಚಿತ ಉದ್ದ ≤ವ್ಯಾಸ | ಸಂಚಿತ ಉದ್ದ≤2*ವ್ಯಾಸ | NA |
ಕಿತ್ತಳೆ ಸಿಪ್ಪೆ / ಹೊಂಡ / ಕಲೆಗಳು / ಬಿರುಕುಗಳು / ಮಾಲಿನ್ಯ | ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ | NA | |
ಎಡ್ಜ್ ಚಿಪ್ಸ್/ಇಂಡೆಂಟ್ಗಳು/ಫ್ರಾಕ್ಚರ್/ಹೆಕ್ಸ್ ಪ್ಲೇಟ್ಗಳು | ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ | ||
ಪಾಲಿಟೈಪ್ ಪ್ರದೇಶಗಳು | ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ | ಸಂಚಿತ ಪ್ರದೇಶ≤20% | ಸಂಚಿತ ಪ್ರದೇಶ≤30% |
ಮುಂಭಾಗದ ಲೇಸರ್ ಗುರುತು | ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ | ||
ಹಿಂದಿನ ಗುಣಮಟ್ಟ | |||
ಬ್ಯಾಕ್ ಫಿನಿಶ್ | ಸಿ-ಫೇಸ್ CMP | ||
ಗೀರುಗಳು | ≤5ea/mm, ಸಂಚಿತ ಉದ್ದ≤2*ವ್ಯಾಸ | NA | |
ಹಿಂಭಾಗದ ದೋಷಗಳು (ಎಡ್ಜ್ ಚಿಪ್ಸ್/ಇಂಡೆಂಟ್ಗಳು) | ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ | ||
ಬೆನ್ನು ಒರಟುತನ | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
ಹಿಂದಿನ ಲೇಸರ್ ಗುರುತು | 1 ಮಿಮೀ (ಮೇಲಿನ ತುದಿಯಿಂದ) | ||
ಎಡ್ಜ್ | |||
ಎಡ್ಜ್ | ಚೇಂಫರ್ | ||
ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ | |||
ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ | ನಿರ್ವಾತ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ನೊಂದಿಗೆ ಎಪಿ-ಸಿದ್ಧ ಬಹು-ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾಸೆಟ್ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ | ||
*ಟಿಪ್ಪಣಿಗಳು: "NA" ಎಂದರೆ ಯಾವುದೇ ವಿನಂತಿಯನ್ನು ಉಲ್ಲೇಖಿಸದ ಐಟಂಗಳು SEMI-STD ಅನ್ನು ಉಲ್ಲೇಖಿಸಬಹುದು. |