2. ಪ್ರಾಯೋಗಿಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ
2.1 ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವ ಚಿತ್ರದ ಕ್ಯೂರಿಂಗ್
ನೇರವಾಗಿ ಕಾರ್ಬನ್ ಫಿಲ್ಮ್ ಅಥವಾ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಪೇಪರ್‌ನೊಂದಿಗೆ ಬಂಧವನ್ನು ರಚಿಸುವುದನ್ನು ಗಮನಿಸಲಾಗಿದೆSiC ಬಿಲ್ಲೆಗಳುಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವ ಲೇಪನವು ಹಲವಾರು ಸಮಸ್ಯೆಗಳಿಗೆ ಕಾರಣವಾಯಿತು:
1. ನಿರ್ವಾತ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳಲ್ಲಿ, ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವ ಚಿತ್ರ ಆನ್ ಆಗಿದೆSiC ಬಿಲ್ಲೆಗಳುಗಮನಾರ್ಹವಾದ ಗಾಳಿಯ ಬಿಡುಗಡೆಯ ಕಾರಣದಿಂದಾಗಿ ಒಂದು ಪ್ರಮಾಣದ ನೋಟವನ್ನು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಪಡಿಸಿತು, ಇದರ ಪರಿಣಾಮವಾಗಿ ಮೇಲ್ಮೈ ಸರಂಧ್ರತೆ ಉಂಟಾಗುತ್ತದೆ. ಇದು ಕಾರ್ಬೊನೈಸೇಶನ್ ನಂತರ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವ ಪದರಗಳನ್ನು ಸರಿಯಾಗಿ ಬಂಧಿಸುವುದನ್ನು ತಡೆಯುತ್ತದೆ.
2. ಬಂಧದ ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ದಿವೇಫರ್ಒಂದೇ ಬಾರಿಗೆ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಪೇಪರ್ ಮೇಲೆ ಇಡಬೇಕು. ಮರುಸ್ಥಾಪನೆ ಸಂಭವಿಸಿದಲ್ಲಿ, ಅಸಮ ಒತ್ತಡವು ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವ ಏಕರೂಪತೆಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಬಂಧದ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಋಣಾತ್ಮಕವಾಗಿ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ.
3. ನಿರ್ವಾತ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಗಳಲ್ಲಿ, ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವ ಪದರದಿಂದ ಗಾಳಿಯ ಬಿಡುಗಡೆಯು ಸಿಪ್ಪೆಸುಲಿಯುವಿಕೆಯನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವ ಫಿಲ್ಮ್ನೊಳಗೆ ಹಲವಾರು ಖಾಲಿಜಾಗಗಳ ರಚನೆಗೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ, ಇದರ ಪರಿಣಾಮವಾಗಿ ಬಂಧದ ದೋಷಗಳು ಉಂಟಾಗುತ್ತವೆ. ಈ ಸಮಸ್ಯೆಗಳನ್ನು ಪರಿಹರಿಸಲು, ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯನ್ನು ಮೊದಲೇ ಒಣಗಿಸುವುದುವೇಫರ್ ನಸ್ಪಿನ್-ಲೇಪನದ ನಂತರ ಬಿಸಿ ಪ್ಲೇಟ್ ಬಳಸಿ ಬಂಧದ ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ಶಿಫಾರಸು ಮಾಡಲಾಗಿದೆ.
2.2 ಕಾರ್ಬೊನೈಸೇಶನ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ
ಕಾರ್ಬನ್ ಫಿಲ್ಮ್ ಅನ್ನು ರಚಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆSiC ಬೀಜ ವೇಫರ್ಮತ್ತು ಅದನ್ನು ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಪೇಪರ್‌ಗೆ ಜೋಡಿಸಲು ಬಿಗಿಯಾದ ಬಂಧವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವ ಪದರದ ಕಾರ್ಬೊನೈಸೇಶನ್ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ. ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವ ಪದರದ ಅಪೂರ್ಣ ಕಾರ್ಬೊನೈಸೇಶನ್ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಅದರ ವಿಭಜನೆಗೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು, ಸ್ಫಟಿಕ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುವ ಕಲ್ಮಶಗಳನ್ನು ಬಿಡುಗಡೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ. ಆದ್ದರಿಂದ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಬಂಧಕ್ಕೆ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವ ಪದರದ ಸಂಪೂರ್ಣ ಕಾರ್ಬೊನೈಸೇಶನ್ ಅನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳುವುದು ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ. ಈ ಅಧ್ಯಯನವು ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವ ಕಾರ್ಬೊನೈಸೇಶನ್ ಮೇಲೆ ತಾಪಮಾನದ ಪರಿಣಾಮವನ್ನು ಪರಿಶೀಲಿಸುತ್ತದೆ. ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್‌ನ ಏಕರೂಪದ ಪದರವನ್ನು ಅನ್ವಯಿಸಲಾಗಿದೆವೇಫರ್ಮೇಲ್ಮೈ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಾತ (<10 Pa) ಅಡಿಯಲ್ಲಿ ಟ್ಯೂಬ್ ಕುಲುಮೆಯಲ್ಲಿ ಇರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ತಾಪಮಾನವನ್ನು ಪೂರ್ವನಿಗದಿ ಮಟ್ಟಕ್ಕೆ (400℃, 500℃, ಮತ್ತು 600℃) ಹೆಚ್ಚಿಸಲಾಯಿತು ಮತ್ತು ಇಂಗಾಲೀಕರಣವನ್ನು ಸಾಧಿಸಲು 3-5 ಗಂಟೆಗಳ ಕಾಲ ನಿರ್ವಹಿಸಲಾಯಿತು.
ಪ್ರಯೋಗಗಳನ್ನು ಸೂಚಿಸಲಾಗಿದೆ:
400℃ ನಲ್ಲಿ, 3 ಗಂಟೆಗಳ ನಂತರ, ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವ ಫಿಲ್ಮ್ ಕಾರ್ಬೊನೈಸ್ ಆಗಲಿಲ್ಲ ಮತ್ತು ಗಾಢ ಕೆಂಪು ಬಣ್ಣದಲ್ಲಿ ಕಾಣಿಸಿಕೊಂಡಿತು; 4 ಗಂಟೆಗಳ ನಂತರ ಯಾವುದೇ ಗಮನಾರ್ಹ ಬದಲಾವಣೆ ಕಂಡುಬಂದಿಲ್ಲ.
500℃ ನಲ್ಲಿ, 3 ಗಂಟೆಗಳ ನಂತರ, ಫಿಲ್ಮ್ ಕಪ್ಪು ಬಣ್ಣಕ್ಕೆ ತಿರುಗಿತು ಆದರೆ ಇನ್ನೂ ಬೆಳಕನ್ನು ಹರಡಿತು; 4 ಗಂಟೆಗಳ ನಂತರ ಗಮನಾರ್ಹ ಬದಲಾವಣೆಗಳಿಲ್ಲ.
600℃ ನಲ್ಲಿ, 3 ಗಂಟೆಗಳ ನಂತರ, ಫಿಲ್ಮ್ ಯಾವುದೇ ಬೆಳಕಿನ ಪ್ರಸರಣವಿಲ್ಲದೆ ಕಪ್ಪು ಬಣ್ಣಕ್ಕೆ ತಿರುಗಿತು, ಇದು ಸಂಪೂರ್ಣ ಇಂಗಾಲೀಕರಣವನ್ನು ಸೂಚಿಸುತ್ತದೆ.
ಹೀಗಾಗಿ, ಸೂಕ್ತವಾದ ಬಂಧದ ತಾಪಮಾನವು ≥600℃ ಆಗಿರಬೇಕು.
2.3 ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ
ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವ ಫಿಲ್ಮ್ನ ಏಕರೂಪತೆಯು ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಮೌಲ್ಯಮಾಪನ ಮಾಡಲು ಮತ್ತು ಏಕರೂಪದ ಬಂಧದ ಪದರವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ನಿರ್ಣಾಯಕ ಸೂಚಕವಾಗಿದೆ. ಈ ವಿಭಾಗವು ವಿಭಿನ್ನ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವ ಫಿಲ್ಮ್ ದಪ್ಪಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾದ ಸ್ಪಿನ್ ವೇಗ ಮತ್ತು ಲೇಪನ ಸಮಯವನ್ನು ಪರಿಶೋಧಿಸುತ್ತದೆ. ಏಕರೂಪತೆ
ಫಿಲ್ಮ್ ದಪ್ಪದ u ಅನ್ನು ಉಪಯುಕ್ತ ಪ್ರದೇಶದ ಮೇಲೆ ಕನಿಷ್ಟ ಫಿಲ್ಮ್ ದಪ್ಪ Lmin ಗರಿಷ್ಠ ಫಿಲ್ಮ್ ದಪ್ಪ Lmax ಅನುಪಾತ ಎಂದು ವ್ಯಾಖ್ಯಾನಿಸಲಾಗಿದೆ. ಫಿಲ್ಮ್ ದಪ್ಪವನ್ನು ಅಳೆಯಲು ವೇಫರ್‌ನಲ್ಲಿ ಐದು ಅಂಕಗಳನ್ನು ಆಯ್ಕೆಮಾಡಲಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಏಕರೂಪತೆಯನ್ನು ಲೆಕ್ಕಹಾಕಲಾಗಿದೆ. ಚಿತ್ರ 4 ಮಾಪನ ಬಿಂದುಗಳನ್ನು ವಿವರಿಸುತ್ತದೆ.
SiC ವೇಫರ್ ಮತ್ತು ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಘಟಕಗಳ ನಡುವಿನ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಬಂಧಕ್ಕಾಗಿ, ಆದ್ಯತೆಯ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವ ಫಿಲ್ಮ್ ದಪ್ಪವು 1-5 µm ಆಗಿದೆ. 2 µm ನ ಫಿಲ್ಮ್ ದಪ್ಪವನ್ನು ಆಯ್ಕೆಮಾಡಲಾಗಿದೆ, ಇದು ಕಾರ್ಬನ್ ಫಿಲ್ಮ್ ತಯಾರಿಕೆ ಮತ್ತು ವೇಫರ್/ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಪೇಪರ್ ಬಾಂಡಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳೆರಡಕ್ಕೂ ಅನ್ವಯಿಸುತ್ತದೆ. ಕಾರ್ಬೊನೈಸಿಂಗ್ ಅಂಟುಗೆ ಸೂಕ್ತವಾದ ಸ್ಪಿನ್-ಲೇಪಿತ ನಿಯತಾಂಕಗಳು 2500 r/min ನಲ್ಲಿ 15 ಸೆ, ಮತ್ತು ಬಂಧದ ಅಂಟುಗೆ, 2000 r/min ನಲ್ಲಿ 15 ಸೆ.
2.4 ಬಂಧದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ
ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್/ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಪೇಪರ್‌ಗೆ SiC ವೇಫರ್‌ನ ಬಂಧದ ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ಬಂಧದ ಪದರದಿಂದ ಕಾರ್ಬೊನೈಸೇಶನ್ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುವ ಗಾಳಿ ಮತ್ತು ಸಾವಯವ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ತೊಡೆದುಹಾಕಲು ಇದು ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ. ಅಪೂರ್ಣ ಅನಿಲ ನಿರ್ಮೂಲನೆಯು ಶೂನ್ಯಗಳಿಗೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ದಟ್ಟವಲ್ಲದ ಬಂಧದ ಪದರಕ್ಕೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ. ಯಾಂತ್ರಿಕ ತೈಲ ಪಂಪ್ ಬಳಸಿ ಗಾಳಿ ಮತ್ತು ಸಾವಯವ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ಸ್ಥಳಾಂತರಿಸಬಹುದು. ಆರಂಭದಲ್ಲಿ, ಯಾಂತ್ರಿಕ ಪಂಪ್ನ ನಿರಂತರ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯು ನಿರ್ವಾತ ಚೇಂಬರ್ ಅದರ ಮಿತಿಯನ್ನು ತಲುಪುತ್ತದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಬಂಧದ ಪದರದಿಂದ ಸಂಪೂರ್ಣ ಗಾಳಿಯನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕಲು ಅನುವು ಮಾಡಿಕೊಡುತ್ತದೆ. ಕ್ಷಿಪ್ರ ತಾಪಮಾನ ಏರಿಕೆಯು ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಕಾರ್ಬೊನೈಸೇಶನ್ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಸಕಾಲಿಕ ಅನಿಲ ನಿರ್ಮೂಲನೆಯನ್ನು ತಡೆಯುತ್ತದೆ, ಬಂಧದ ಪದರದಲ್ಲಿ ಖಾಲಿಜಾಗಗಳನ್ನು ರೂಪಿಸುತ್ತದೆ. ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ≤120℃ ನಲ್ಲಿ ಗಮನಾರ್ಹವಾದ ಔಟ್ಗ್ಯಾಸಿಂಗ್ ಅನ್ನು ಸೂಚಿಸುತ್ತವೆ, ಈ ತಾಪಮಾನಕ್ಕಿಂತ ಸ್ಥಿರವಾಗಿರುತ್ತದೆ.
ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವ ಚಿತ್ರದ ಸಾಂದ್ರತೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸಲು ಬಂಧದ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಬಾಹ್ಯ ಒತ್ತಡವನ್ನು ಅನ್ವಯಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಗಾಳಿ ಮತ್ತು ಸಾವಯವ ಅನಿಲಗಳ ಹೊರಹಾಕುವಿಕೆಯನ್ನು ಸುಗಮಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ, ಇದರ ಪರಿಣಾಮವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಬಂಧದ ಪದರವು ಉಂಟಾಗುತ್ತದೆ.
ಸಂಕ್ಷಿಪ್ತವಾಗಿ, ಚಿತ್ರ 5 ರಲ್ಲಿ ತೋರಿಸಿರುವ ಬಂಧದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಕರ್ವ್ ಅನ್ನು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಪಡಿಸಲಾಗಿದೆ. ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಒತ್ತಡದ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ, ತಾಪಮಾನವನ್ನು ಔಟ್ಗ್ಯಾಸಿಂಗ್ ತಾಪಮಾನಕ್ಕೆ (~120℃) ಹೆಚ್ಚಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಔಟ್ಗ್ಯಾಸಿಂಗ್ ಪೂರ್ಣಗೊಳ್ಳುವವರೆಗೆ ಹಿಡಿದಿಟ್ಟುಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ. ನಂತರ, ತಾಪಮಾನವನ್ನು ಕಾರ್ಬೊನೈಸೇಶನ್ ತಾಪಮಾನಕ್ಕೆ ಹೆಚ್ಚಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಅವಧಿಗೆ ನಿರ್ವಹಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ನಂತರ ಕೋಣೆಯ ಉಷ್ಣಾಂಶಕ್ಕೆ ನೈಸರ್ಗಿಕ ತಂಪಾಗಿಸುವಿಕೆ, ಒತ್ತಡದ ಬಿಡುಗಡೆ ಮತ್ತು ಬಂಧಿತ ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕಲಾಗುತ್ತದೆ.
ವಿಭಾಗ 2.2 ರ ಪ್ರಕಾರ, ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವ ಫಿಲ್ಮ್ ಅನ್ನು 3 ಗಂಟೆಗಳ ಕಾಲ 600℃ ನಲ್ಲಿ ಕಾರ್ಬೊನೈಸ್ ಮಾಡಬೇಕಾಗಿದೆ. ಆದ್ದರಿಂದ, ಬಂಧ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಕರ್ವ್‌ನಲ್ಲಿ, T2 ಅನ್ನು 600℃ ಮತ್ತು t2 ರಿಂದ 3 ಗಂಟೆಗಳವರೆಗೆ ಹೊಂದಿಸಲಾಗಿದೆ. ಬಂಧದ ಒತ್ತಡದ ಪರಿಣಾಮಗಳನ್ನು ಅಧ್ಯಯನ ಮಾಡುವ ಆರ್ಥೋಗೋನಲ್ ಪ್ರಯೋಗಗಳ ಮೂಲಕ ನಿರ್ಧರಿಸಲಾದ ಬಂಧ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಕರ್ವ್‌ಗೆ ಸೂಕ್ತವಾದ ಮೌಲ್ಯಗಳು, ಮೊದಲ ಹಂತದ ತಾಪನ ಸಮಯ t1 ಮತ್ತು ಬಂಧದ ಫಲಿತಾಂಶಗಳ ಮೇಲೆ ಎರಡನೇ ಹಂತದ ತಾಪನ ಸಮಯ t2, ಕೋಷ್ಟಕಗಳು 2-4 ರಲ್ಲಿ ತೋರಿಸಲಾಗಿದೆ.
ಫಲಿತಾಂಶಗಳನ್ನು ಸೂಚಿಸಲಾಗಿದೆ:
5 kN ನ ಬಂಧದ ಒತ್ತಡದಲ್ಲಿ, ತಾಪನ ಸಮಯವು ಬಂಧದ ಮೇಲೆ ಕನಿಷ್ಠ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರಿತು.
10 kN ನಲ್ಲಿ, ಬಂಧದ ಪದರದಲ್ಲಿನ ನಿರರ್ಥಕ ಪ್ರದೇಶವು ದೀರ್ಘವಾದ ಮೊದಲ ಹಂತದ ತಾಪನದೊಂದಿಗೆ ಕಡಿಮೆಯಾಗಿದೆ.
15 kN ನಲ್ಲಿ, ಮೊದಲ ಹಂತದ ತಾಪನವನ್ನು ವಿಸ್ತರಿಸುವುದರಿಂದ ಖಾಲಿಜಾಗಗಳನ್ನು ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಿತು, ಅಂತಿಮವಾಗಿ ಅವುಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕುತ್ತದೆ.
ಬಂಧದ ಮೇಲೆ ಎರಡನೇ ಹಂತದ ತಾಪನ ಸಮಯದ ಪರಿಣಾಮವು ಆರ್ಥೋಗೋನಲ್ ಪರೀಕ್ಷೆಗಳಲ್ಲಿ ಸ್ಪಷ್ಟವಾಗಿಲ್ಲ. ಬಂಧದ ಒತ್ತಡವನ್ನು 15 kN ನಲ್ಲಿ ಮತ್ತು ಮೊದಲ ಹಂತದ ತಾಪನ ಸಮಯವನ್ನು 90 ನಿಮಿಷಗಳಲ್ಲಿ ಸರಿಪಡಿಸುವುದು, ಎರಡನೇ ಹಂತದ ತಾಪನ ಸಮಯ 30, 60 ಮತ್ತು 90 ನಿಮಿಷಗಳು ಎಲ್ಲವೂ ಶೂನ್ಯ-ಮುಕ್ತ ದಟ್ಟವಾದ ಬಂಧದ ಪದರಗಳಿಗೆ ಕಾರಣವಾಯಿತು, ಇದು ಎರಡನೇ ಹಂತದ ತಾಪನ ಸಮಯವನ್ನು ಸೂಚಿಸುತ್ತದೆ ಬಂಧದ ಮೇಲೆ ಕಡಿಮೆ ಪರಿಣಾಮ.
ಬಾಂಡಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಕರ್ವ್‌ಗೆ ಸೂಕ್ತ ಮೌಲ್ಯಗಳು: ಬಂಧದ ಒತ್ತಡ 15 kN, ಮೊದಲ ಹಂತದ ತಾಪನ ಸಮಯ 90 ನಿಮಿಷ, ಮೊದಲ ಹಂತದ ತಾಪಮಾನ 120℃, ಎರಡನೇ ಹಂತದ ತಾಪನ ಸಮಯ 30 ನಿಮಿಷ, ಎರಡನೇ ಹಂತದ ತಾಪಮಾನ 600℃, ಮತ್ತು ಎರಡನೇ ಹಂತದ ಹಿಡುವಳಿ ಸಮಯ 3 ಗಂಟೆಗಳು.
ಪೋಸ್ಟ್ ಸಮಯ: ಜೂನ್-11-2024