SEMICERA ಐಸೊಸ್ಟಾಟಿಕ್ PECVD ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ದೋಣಿಯು PECVD (ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ವರ್ಧಿತ ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ) ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ವೇಫರ್ ಬೆಂಬಲಕ್ಕಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾದ ಹೆಚ್ಚಿನ-ಶುದ್ಧತೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಉತ್ಪನ್ನವಾಗಿದೆ. ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ದೋಣಿ ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾದ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಪ್ರತಿರೋಧ, ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆ, ಆಯಾಮದ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ಉತ್ತಮ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು SEMICERA ಸುಧಾರಿತ ಐಸೊಸ್ಟಾಟಿಕ್ ಪ್ರೆಸ್ಸಿಂಗ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವನ್ನು ಬಳಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಅನಿವಾರ್ಯ ಉಪಭೋಗ್ಯವಾಗಿದೆ.
SEMICERA ಐಸೊಸ್ಟಾಟಿಕ್ PECVD ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ದೋಣಿ ಕೆಳಗಿನ ಅನುಕೂಲಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ:
▪ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆ: ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ವಸ್ತುವು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆ ಮತ್ತು ವೇಫರ್ ಮೇಲ್ಮೈಯ ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ತಪ್ಪಿಸಲು ಕಡಿಮೆ ಅಶುದ್ಧತೆಯ ವಿಷಯವಾಗಿದೆ.
▪ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆ: ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಶಕ್ತಿ, ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿರ್ವಾತ ಪರಿಸರವನ್ನು ತಡೆದುಕೊಳ್ಳಬಲ್ಲದು.
▪ ಉತ್ತಮ ಆಯಾಮದ ಸ್ಥಿರತೆ: ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ಸಣ್ಣ ಆಯಾಮದ ಬದಲಾವಣೆ.
▪ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ: ವೇಫರ್ ಅಧಿಕ ಬಿಸಿಯಾಗುವುದನ್ನು ತಡೆಯಲು ಶಾಖವನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ವರ್ಗಾಯಿಸಿ.
▪ ಬಲವಾದ ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆ: ವಿವಿಧ ನಾಶಕಾರಿ ಅನಿಲಗಳು ಮತ್ತು ಪ್ಲಾಸ್ಮಾದಿಂದ ಸವೆತವನ್ನು ವಿರೋಧಿಸಲು ಸಾಧ್ಯವಾಗುತ್ತದೆ.
ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ನಿಯತಾಂಕ | ಸೆಮಿಸೆರಾ | SGL R6510 | ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ನಿಯತಾಂಕ |
ಬೃಹತ್ ಸಾಂದ್ರತೆ (g/cm3) | 1.91 | 1.83 | 1.85 |
ಬಾಗುವ ಶಕ್ತಿ (MPa) | 63 | 60 | 49 |
ಸಂಕುಚಿತ ಶಕ್ತಿ (MPa) | 135 | 130 | 103 |
ತೀರದ ಗಡಸುತನ (HS) | 70 | 64 | 60 |
ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆಯ ಗುಣಾಂಕ (10-6/K) | 85 | 105 | 130 |
ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆಯ ಗುಣಾಂಕ (10-6/K) | 5.85 | 4.2 | 5.0 |
ಪ್ರತಿರೋಧಕತೆ (μΩm) | 11-13 | 13 | 10 |
ನಮ್ಮನ್ನು ಆಯ್ಕೆ ಮಾಡುವ ಅನುಕೂಲಗಳು:
▪ ವಸ್ತು ಆಯ್ಕೆ: ಉತ್ಪನ್ನದ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
▪ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ: ಉತ್ಪನ್ನದ ಸಾಂದ್ರತೆ ಮತ್ತು ಏಕರೂಪತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಐಸೊಸ್ಟಾಟಿಕ್ ಒತ್ತುವಿಕೆಯನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
▪ ಗಾತ್ರದ ಗ್ರಾಹಕೀಕರಣ: ಗ್ರಾಹಕರ ಅಗತ್ಯಗಳಿಗೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿ ವಿವಿಧ ಗಾತ್ರಗಳು ಮತ್ತು ಆಕಾರಗಳ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ದೋಣಿಗಳನ್ನು ಕಸ್ಟಮೈಸ್ ಮಾಡಬಹುದು.
▪ ಮೇಲ್ಮೈ ಚಿಕಿತ್ಸೆ: ವಿವಿಧ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಲು ಲೇಪನ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್, ಬೋರಾನ್ ನೈಟ್ರೈಡ್, ಇತ್ಯಾದಿಗಳಂತಹ ವಿವಿಧ ಮೇಲ್ಮೈ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ವಿಧಾನಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸಲಾಗಿದೆ.