ಸೆಮಿಸೆರಾ ಉತ್ತಮ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಕಸ್ಟಮ್ ಅನ್ನು ಪ್ರಸ್ತುತಪಡಿಸುತ್ತದೆಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಕ್ಯಾಂಟಿಲಿವರ್ ಪ್ಯಾಡಲ್ಗಳುಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸಲು ರಚಿಸಲಾಗಿದೆ. ನವೀನSiC ಪ್ಯಾಡಲ್ವಿನ್ಯಾಸವು ಅಸಾಧಾರಣ ಬಾಳಿಕೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ನಿರೋಧಕತೆಯನ್ನು ಖಾತ್ರಿಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಸವಾಲಿನ ವೇಫರ್ ನಿರ್ವಹಣೆಗೆ ಅತ್ಯಗತ್ಯ ಅಂಶವಾಗಿದೆ.
ದಿಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಪ್ಯಾಡಲ್ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನೆಯ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಹಂತಗಳಲ್ಲಿ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ ವೇಫರ್ ಸಾಗಣೆಯನ್ನು ಖಾತ್ರಿಪಡಿಸುವ, ರಚನಾತ್ಮಕ ಸಮಗ್ರತೆಯನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳುವಾಗ ತೀವ್ರವಾದ ಉಷ್ಣ ಚಕ್ರಗಳನ್ನು ತಡೆದುಕೊಳ್ಳುವಂತೆ ನಿರ್ಮಿಸಲಾಗಿದೆ. ಉನ್ನತ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಶಕ್ತಿಯೊಂದಿಗೆ, ಇದುವೇಫರ್ ದೋಣಿಬಿಲ್ಲೆಗಳಿಗೆ ಹಾನಿಯಾಗುವ ಅಪಾಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ಇಳುವರಿ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರವಾದ ಉತ್ಪಾದನಾ ಗುಣಮಟ್ಟಕ್ಕೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ.
ಸೆಮಿಸೆರಾದ SiC ಪ್ಯಾಡಲ್ನಲ್ಲಿನ ಪ್ರಮುಖ ಆವಿಷ್ಕಾರಗಳಲ್ಲಿ ಒಂದು ಅದರ ಕಸ್ಟಮ್ ವಿನ್ಯಾಸ ಆಯ್ಕೆಗಳಲ್ಲಿದೆ. ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಉತ್ಪಾದನಾ ಅಗತ್ಯಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಲು ಅನುಗುಣವಾಗಿ, ಪ್ಯಾಡಲ್ ವಿವಿಧ ಸಲಕರಣೆಗಳ ಸೆಟಪ್ಗಳೊಂದಿಗೆ ಏಕೀಕರಣದಲ್ಲಿ ನಮ್ಯತೆಯನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ, ಇದು ಆಧುನಿಕ ಫ್ಯಾಬ್ರಿಕೇಶನ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತ ಪರಿಹಾರವಾಗಿದೆ. ಹಗುರವಾದ ಆದರೆ ದೃಢವಾದ ನಿರ್ಮಾಣವು ಸುಲಭ ನಿರ್ವಹಣೆಯನ್ನು ಶಕ್ತಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ಅಲಭ್ಯತೆಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನೆಯಲ್ಲಿ ಸುಧಾರಿತ ದಕ್ಷತೆಗೆ ಕೊಡುಗೆ ನೀಡುತ್ತದೆ.
ಅದರ ಉಷ್ಣ ಮತ್ತು ಯಾಂತ್ರಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳ ಜೊತೆಗೆ, ದಿಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಪ್ಯಾಡಲ್ಅತ್ಯುತ್ತಮ ರಾಸಾಯನಿಕ ಪ್ರತಿರೋಧವನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ, ಇದು ಕಠಿಣ ರಾಸಾಯನಿಕ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿಯೂ ಸಹ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹವಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸಲು ಅನುವು ಮಾಡಿಕೊಡುತ್ತದೆ. ಇದು ಎಚ್ಚಣೆ, ಠೇವಣಿ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಚಿಕಿತ್ಸೆಯನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಕೆಗೆ ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ, ಅಲ್ಲಿ ವೇಫರ್ ಬೋಟ್ನ ಸಮಗ್ರತೆಯನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳುವುದು ಉತ್ತಮ-ಗುಣಮಟ್ಟದ ಉತ್ಪನ್ನಗಳನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ.
ರಿಕ್ರಿಸ್ಟಲೈಸ್ಡ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ನ ಭೌತಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು | |
ಆಸ್ತಿ | ವಿಶಿಷ್ಟ ಮೌಲ್ಯ |
ಕೆಲಸದ ತಾಪಮಾನ (°C) | 1600 ° C (ಆಮ್ಲಜನಕದೊಂದಿಗೆ), 1700 ° C (ಪರಿಸರವನ್ನು ಕಡಿಮೆಗೊಳಿಸುವುದು) |
SiC ವಿಷಯ | > 99.96% |
ಉಚಿತ Si ವಿಷಯ | < 0.1% |
ಬೃಹತ್ ಸಾಂದ್ರತೆ | 2.60-2.70 ಗ್ರಾಂ / ಸೆಂ3 |
ಸ್ಪಷ್ಟ ಸರಂಧ್ರತೆ | < 16% |
ಸಂಕೋಚನ ಶಕ್ತಿ | > 600 MPa |
ಶೀತ ಬಾಗುವ ಶಕ್ತಿ | 80-90 MPa (20°C) |
ಬಿಸಿ ಬಾಗುವ ಶಕ್ತಿ | 90-100 MPa (1400°C) |
ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ @1500°C | 4.70 10-6/°C |
ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ @1200°C | 23 W/m•K |
ಸ್ಥಿತಿಸ್ಥಾಪಕ ಮಾಡ್ಯುಲಸ್ | 240 GPa |
ಉಷ್ಣ ಆಘಾತ ಪ್ರತಿರೋಧ | ಅತ್ಯಂತ ಒಳ್ಳೆಯದು |