ಘನ CVD ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಭಾಗಗಳು RTP/EPI ರಿಂಗ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಬೇಸ್‌ಗಳಿಗೆ ಪ್ರಾಥಮಿಕ ಆಯ್ಕೆಯಾಗಿ ಗುರುತಿಸಲ್ಪಟ್ಟಿವೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಿಸ್ಟಮ್ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಆಪರೇಟಿಂಗ್ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ (>1500℃) ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುವ ಪ್ಲಾಸ್ಮ್ ಏಚ್ ಕ್ಯಾವಿಟಿ ಭಾಗಗಳು, ಶುದ್ಧತೆಯ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳು ನಿರ್ದಿಷ್ಟವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚು (>99.9995%) ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕಗಳಿಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧವು ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿರುವಾಗ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಉತ್ತಮವಾಗಿರುತ್ತದೆ. ಈ ವಸ್ತುಗಳು ಧಾನ್ಯದ ಅಂಚಿನಲ್ಲಿ ದ್ವಿತೀಯ ಹಂತಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುವುದಿಲ್ಲ, ಆದ್ದರಿಂದ ಅವುಗಳ ಘಟಕಗಳು ಇತರ ವಸ್ತುಗಳಿಗಿಂತ ಕಡಿಮೆ ಕಣಗಳನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುತ್ತವೆ. ಹೆಚ್ಚುವರಿಯಾಗಿ, ಈ ಘಟಕಗಳನ್ನು ಬಿಸಿಯಾದ HF/HCl ಅನ್ನು ಕಡಿಮೆ ವಿಘಟನೆಯೊಂದಿಗೆ ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಬಹುದು, ಇದರ ಪರಿಣಾಮವಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ಕಣಗಳು ಮತ್ತು ದೀರ್ಘಾವಧಿಯ ಸೇವಾ ಜೀವನ.
