ಸೆಮಿಸೆರಾ 3C-SiC ವೇಫರ್ ಸಬ್‌ಸ್ಟ್ರೇಟ್‌ಗಳು ಮುಂದಿನ ಪೀಳಿಗೆಯ ಪವರ್ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ ಮತ್ತು ಹೈ-ಫ್ರೀಕ್ವೆನ್ಸಿ ಸಾಧನಗಳಿಗೆ ದೃಢವಾದ ವೇದಿಕೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸಲು ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ. ಉನ್ನತ ಉಷ್ಣ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಮತ್ತು ವಿದ್ಯುತ್ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳೊಂದಿಗೆ, ಆಧುನಿಕ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ಬೇಡಿಕೆಯ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಲು ಈ ತಲಾಧಾರಗಳನ್ನು ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ.
ಸೆಮಿಸೆರಾ ವೇಫರ್ ಸಬ್‌ಸ್ಟ್ರೇಟ್‌ಗಳ 3C-SiC (ಕ್ಯೂಬಿಕ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್) ರಚನೆಯು ಇತರ ಅರೆವಾಹಕ ವಸ್ತುಗಳಿಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ ಗುಣಾಂಕ ಸೇರಿದಂತೆ ವಿಶಿಷ್ಟ ಪ್ರಯೋಜನಗಳನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ. ತೀವ್ರತರವಾದ ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶಕ್ತಿಯ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳಲ್ಲಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುವ ಸಾಧನಗಳಿಗೆ ಇದು ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಆಯ್ಕೆಯಾಗಿದೆ.
ಹೆಚ್ಚಿನ ವಿದ್ಯುತ್ ಸ್ಥಗಿತ ವೋಲ್ಟೇಜ್ ಮತ್ತು ಉನ್ನತ ರಾಸಾಯನಿಕ ಸ್ಥಿರತೆಯೊಂದಿಗೆ, ಸೆಮಿಸೆರಾ 3C-SiC ವೇಫರ್ ಸಬ್‌ಸ್ಟ್ರೇಟ್‌ಗಳು ದೀರ್ಘಕಾಲೀನ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಮತ್ತು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ. ಈ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಹೈ-ಫ್ರೀಕ್ವೆನ್ಸಿ ರಾಡಾರ್, ಘನ-ಸ್ಥಿತಿಯ ಬೆಳಕು ಮತ್ತು ಪವರ್ ಇನ್ವರ್ಟರ್‌ಗಳಂತಹ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್‌ಗಳಿಗೆ ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿವೆ, ಅಲ್ಲಿ ದಕ್ಷತೆ ಮತ್ತು ಬಾಳಿಕೆ ಅತಿಮುಖ್ಯವಾಗಿದೆ.
ಗುಣಮಟ್ಟಕ್ಕೆ ಸೆಮಿಸೆರಾ ಅವರ ಬದ್ಧತೆಯು ಅವರ 3C-SiC ವೇಫರ್ ಸಬ್‌ಸ್ಟ್ರೇಟ್‌ಗಳ ನಿಖರವಾದ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಪ್ರತಿಫಲಿಸುತ್ತದೆ, ಪ್ರತಿ ಬ್ಯಾಚ್‌ನಾದ್ಯಂತ ಏಕರೂಪತೆ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಖಾತ್ರಿಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ. ಈ ನಿಖರತೆಯು ಅವುಗಳ ಮೇಲೆ ನಿರ್ಮಿಸಲಾದ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಸಾಧನಗಳ ಒಟ್ಟಾರೆ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಮತ್ತು ದೀರ್ಘಾಯುಷ್ಯಕ್ಕೆ ಕೊಡುಗೆ ನೀಡುತ್ತದೆ.
ಸೆಮಿಸೆರಾ 3C-SiC ವೇಫರ್ ಸಬ್‌ಸ್ಟ್ರೇಟ್‌ಗಳನ್ನು ಆಯ್ಕೆ ಮಾಡುವ ಮೂಲಕ, ತಯಾರಕರು ಚಿಕ್ಕದಾದ, ವೇಗವಾದ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಘಟಕಗಳ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುವ ಅತ್ಯಾಧುನಿಕ ವಸ್ತುಗಳಿಗೆ ಪ್ರವೇಶವನ್ನು ಪಡೆಯುತ್ತಾರೆ. ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉದ್ಯಮದ ವಿಕಸನಗೊಳ್ಳುತ್ತಿರುವ ಬೇಡಿಕೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುವ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ ಪರಿಹಾರಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸುವ ಮೂಲಕ ಸೆಮಿಸೆರಾ ತಾಂತ್ರಿಕ ಆವಿಷ್ಕಾರವನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುವುದನ್ನು ಮುಂದುವರೆಸಿದೆ.
| ವಸ್ತುಗಳು | ಉತ್ಪಾದನೆ | ಸಂಶೋಧನೆ | ನಕಲಿ |
| ಕ್ರಿಸ್ಟಲ್ ನಿಯತಾಂಕಗಳು | |||
| ಪಾಲಿಟೈಪ್ | 4H | ||
| ಮೇಲ್ಮೈ ದೃಷ್ಟಿಕೋನ ದೋಷ | <11-20 >4±0.15° | ||
| ವಿದ್ಯುತ್ ನಿಯತಾಂಕಗಳು | |||
| ಡೋಪಾಂಟ್ | ಎನ್-ಟೈಪ್ ಸಾರಜನಕ | ||
| ಪ್ರತಿರೋಧಕತೆ | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| ಯಾಂತ್ರಿಕ ನಿಯತಾಂಕಗಳು | |||
| ವ್ಯಾಸ | 150.0 ± 0.2mm | ||
| ದಪ್ಪ | 350 ± 25 μm | ||
| ಪ್ರಾಥಮಿಕ ಫ್ಲಾಟ್ ಓರಿಯಂಟೇಶನ್ | [1-100]±5° | ||
| ಪ್ರಾಥಮಿಕ ಫ್ಲಾಟ್ ಉದ್ದ | 47.5 ± 1.5mm | ||
| ಸೆಕೆಂಡರಿ ಫ್ಲಾಟ್ | ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ | ||
| ಟಿಟಿವಿ | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| ಬಿಲ್ಲು | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| ವಾರ್ಪ್ | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| ಮುಂಭಾಗ (Si-ಮುಖ) ಒರಟುತನ (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| ರಚನೆ | |||
| ಮೈಕ್ರೊಪೈಪ್ ಸಾಂದ್ರತೆ | <1 EA/cm2 | <10 EA/cm2 | <15 ಇಎ/ಸೆಂ2 |
| ಲೋಹದ ಕಲ್ಮಶಗಳು | ≤5E10 ಪರಮಾಣುಗಳು/ಸೆಂ2 | NA | |
| BPD | ≤1500 EA/cm2 | ≤3000 EA/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 EA/cm2 | ≤1000 EA/cm2 | NA |
| ಮುಂಭಾಗದ ಗುಣಮಟ್ಟ | |||
| ಮುಂಭಾಗ | Si | ||
| ಮೇಲ್ಮೈ ಮುಕ್ತಾಯ | ಸಿ-ಫೇಸ್ CMP | ||
| ಕಣಗಳು | ≤60ea/ವೇಫರ್ (ಗಾತ್ರ≥0.3μm) | NA | |
| ಗೀರುಗಳು | ≤5ea/mm. ಸಂಚಿತ ಉದ್ದ ≤ವ್ಯಾಸ | ಸಂಚಿತ ಉದ್ದ≤2*ವ್ಯಾಸ | NA |
| ಕಿತ್ತಳೆ ಸಿಪ್ಪೆ / ಹೊಂಡ / ಕಲೆಗಳು / ಬಿರುಕುಗಳು / ಮಾಲಿನ್ಯ | ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ | NA | |
| ಎಡ್ಜ್ ಚಿಪ್ಸ್/ಇಂಡೆಂಟ್‌ಗಳು/ಫ್ರಾಕ್ಚರ್/ಹೆಕ್ಸ್ ಪ್ಲೇಟ್‌ಗಳು | ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ | ||
| ಪಾಲಿಟೈಪ್ ಪ್ರದೇಶಗಳು | ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ | ಸಂಚಿತ ಪ್ರದೇಶ≤20% | ಸಂಚಿತ ಪ್ರದೇಶ≤30% |
| ಮುಂಭಾಗದ ಲೇಸರ್ ಗುರುತು | ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ | ||
| ಹಿಂದಿನ ಗುಣಮಟ್ಟ | |||
| ಬ್ಯಾಕ್ ಫಿನಿಶ್ | ಸಿ-ಫೇಸ್ CMP | ||
| ಗೀರುಗಳು | ≤5ea/mm, ಸಂಚಿತ ಉದ್ದ≤2*ವ್ಯಾಸ | NA | |
| ಹಿಂಭಾಗದ ದೋಷಗಳು (ಎಡ್ಜ್ ಚಿಪ್ಸ್/ಇಂಡೆಂಟ್‌ಗಳು) | ಯಾವುದೂ ಇಲ್ಲ | ||
| ಬೆನ್ನು ಒರಟುತನ | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| ಹಿಂದಿನ ಲೇಸರ್ ಗುರುತು | 1 ಮಿಮೀ (ಮೇಲಿನ ತುದಿಯಿಂದ) | ||
| ಎಡ್ಜ್ | |||
| ಎಡ್ಜ್ | ಚೇಂಫರ್ | ||
| ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ | |||
| ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ | ನಿರ್ವಾತ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್‌ನೊಂದಿಗೆ ಎಪಿ-ಸಿದ್ಧ ಬಹು-ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾಸೆಟ್ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ | ||
| *ಟಿಪ್ಪಣಿಗಳು: "NA" ಎಂದರೆ ಯಾವುದೇ ವಿನಂತಿಯನ್ನು ಉಲ್ಲೇಖಿಸದ ಐಟಂಗಳು SEMI-STD ಅನ್ನು ಉಲ್ಲೇಖಿಸಬಹುದು. | |||
