ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾರಿಯರ್ ಪರಿಚಯ
ಉತ್ಪನ್ನ ವರ್ಗ
▶PECVD ಮತ್ತು TALOX ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಾಗಿ ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾರಿಯರ್ ಸಿಸ್ಟಮ್
• PECVD & TALOX ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಬೋಟ್ (M4~M12)
• ಲಂಬ SM-ಬೋಟ್ (M4, M6)
• ಇಂಪ್ಲಾಂಟ್ ಮತ್ತು ಶವರ್ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಭಾಗ (M4~M6)
• C/C ಟ್ರೇ & ಸೆರಾಮಿಕ್ ಕೋಟಿಂಗ್
• ಮೆಟಲ್ ಆರ್ಐಇ-ಟ್ರೇ ಮತ್ತು ಸೆರಾಮಿಕ್ ಕೋಟಿಂಗ್
• ನಿರ್ವಾತ ಸೀಲಿಂಗ್ : O-ರಿಂಗ್ & SQ-ರಿಂಗ್
▶ಟೆಕ್ಸ್ಚರಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಆರ್ದ್ರ ಎಚ್ಚಣೆ ವರ್ಗಾವಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ
• LSC H-ಕ್ಯಾರಿಯರ್ ಅಥವಾ ಕ್ಯಾಸೆಟ್ (M4~M12)
• LSC V-ಕ್ಯಾರಿಯರ್ ಅಥವಾ ಕ್ಯಾಸೆಟ್ (M4~M12)
• ASC ಕ್ಯಾರಿಯರ್ ಅಥವಾ ಕ್ಯಾಸೆಟ್ (M4, M6)
• W/F ಕ್ಯಾರಿಯರ್ ಮತ್ತು ಸ್ಟೋರೇಜ್ ಬಾಕ್ಸ್ (M4~M12)
• ಸಾರಿಗೆ ಚಕ್ರ (ರೋಲರ್) ಸರಣಿ
▶ಸೌರ ಕೋಶ ವಾಹಕ ಮತ್ತು ಲೋಹದ ವಾಹಕ
• TRC ಕ್ಯಾರಿಯರ್ ಅಥವಾ ಕ್ಯಾಸೆಟ್ (M4~M12)
• ಮ್ಯಾಗಜೀನ್ (BELT ಜೊತೆಗೆ)
ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಬೋಟ್ (H-ಟೈಪ್)
19P6-216CT (WF M4~M12)
ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಬೋಟ್ (H-ಟೈಪ್)
21P6-240CT WF M4~M12)
ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಬೋಟ್ (H-ಟೈಪ್)
23P7-308CT(W/F M4~M12)
ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಬೋಟ್ (H-ಟೈಪ್)
22P/7-294TP (W/F M4~M12)
ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಬೋಟ್ (H-ಟೈಪ್)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
WF ಕ್ಯಾರಿಯರ್ ಮತ್ತು ಶೇಖರಣಾ ಪೆಟ್ಟಿಗೆ (~M12)
C/C ಟ್ರೇ ಅಥವಾ CARRIER( M4~M10)
C/C ಟ್ರೇ ಅಥವಾ CARRIER( M4~M10)
ವರ್ಟಿಕಲ್ ಬೋಟ್ (SM) M6
LSC-H-CARRIER(~M12)
LSC-V-CARRIER(~M12)
ASC ಕ್ಯಾರಿಯರ್ (~M6)
TRC ಕ್ಯಾರಿಯರ್(~M12)
TRC ಕ್ಯಾರಿಯರ್(~M12)
ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್-ಬೋಟ್(M12)
PECVD ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಾಗಿ ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾರಿಯರ್ ಸಿಸ್ಟಮ್
▶ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಬೋಟ್ (CT-ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ) M10/M12 ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ
• ವಿಶೇಷ ವಿನ್ಯಾಸ ಪರಿಕಲ್ಪನೆ
▶ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಬೋಟ್ (CT-ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ) M4/M6 ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ
▶ ಬೋಟ್ ಪರಿಕರಗಳ ಭಾಗಗಳು
▶ ವರ್ಟಿಕಲ್ ಬೋಟ್-161.7ಮಿಮೀ ವೇಫರ್
▶ ವರ್ಟಿಕಲ್ ಬೋಟ್-166 ಎಂಎಂ ವೇಫರ್
▶ ವರ್ಟಿಕಲ್ ಬೋಟ್-161.7mm, 166mm ವೇಫರ್
ಸೌರ ಕೋಶ ವಾಹಕ ಮತ್ತು ಲೋಹದ TRC ವಾಹಕ
ಪ್ರಕಾರ: ಆಟೊಮೇಷನ್
ವೇಫರ್ ಗಾತ್ರ : ① 156×156MM ② 156.75×156.75MM
③161.7x161.7MM ④166x166MM
⑤ 180×180mm ⑥ 210×210mm
ಬಳಕೆ: ಕ್ಯಾರಿ (ಕ್ಯಾಸೆಟ್)
ಸಾಮರ್ಥ್ಯ: 100 ಹಾಳೆಗಳು
ಪಿಚ್: 4.76MM/5.953mm/6.35mm
ಆಯಾಮ: ಅಂದಾಜು 559×220×220MM
ಅಂದಾಜು 712×260×260MM
ಅನುಕೂಲ: ವಾತಾವರಣ
ವಸ್ತು: ಫ್ಲೇಮ್, ಸೈಡ್ ಬಾರ್-ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ (ಆನೋಡೈಸಿಂಗ್)
ಸೈಡ್ ಪ್ಲೇಟ್-ಪೋಮ್ (ಆಂಟಿಸ್ಟಾಟಿಕ್)
ಕೆಳಗಿನ ಪಟ್ಟಿಯ ಕವರ್-EPDM/PU/VITON (ASE)
TRC-ಮೆಟಲ್ ಕ್ಯಾರಿಯರ್ (U'SER ಲೈನ್)
TRC-ಮೆಟಲ್ ಕ್ಯಾರಿಯರ್ (U'SER ಲೈನ್)
TRC-ಮೆಟಲ್ ಕ್ಯಾರಿಯರ್ (U'SER ಲೈನ್)
ಶವರ್ ಪ್ಲೇಟ್ ಮತ್ತು ಇಂಪ್ಲಾಂಟ್, ಕ್ಯಾರಿಯರ್
