ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಎಚ್ಚಣೆ ಉಪಕರಣಗಳಲ್ಲಿ, ಫೋಕಸ್ ರಿಂಗ್ ಸೇರಿದಂತೆ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಘಟಕಗಳು ನಿರ್ಣಾಯಕ ಪಾತ್ರವನ್ನು ವಹಿಸುತ್ತವೆ. ಫೋಕಸ್ ರಿಂಗ್, ವೇಫರ್ ಸುತ್ತಲೂ ಮತ್ತು ಅದರೊಂದಿಗೆ ನೇರ ಸಂಪರ್ಕದಲ್ಲಿ ಇರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ರಿಂಗ್ಗೆ ವೋಲ್ಟೇಜ್ ಅನ್ನು ಅನ್ವಯಿಸುವ ಮೂಲಕ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾವನ್ನು ವೇಫರ್ನ ಮೇಲೆ ಕೇಂದ್ರೀಕರಿಸಲು ಅವಶ್ಯಕವಾಗಿದೆ. ಇದು ಯುಎನ್ ಅನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ ...
ಹೆಚ್ಚು ಓದಿ